公开(公告)号：EP3547353B1

公开(公告)日：2024-05-29

申请号：EP18171076.5

申请日：2018-05-07

IPC分类号： H01L21/60 ,  H01L21/683 ,  H01L21/56 ,  H01L23/538 ,  H05K1/18 ,  H01L23/31

CPC分类号： H05K1/185 ,  H01L21/568 ,  H01L21/6835 ,  H01L23/3107 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/24 ,  H01L24/82 ,  H01L24/96 ,  H01L2221/6836820130101 ,  H01L2224/0410520130101 ,  H01L2224/2413720130101 ,  H01L2224/2415520130101 ,  H01L2224/2417520130101 ,  H01L2224/2422720130101 ,  H01L2224/2424720130101 ,  H01L2224/8203920130101 ,  H01L2924/1305520130101 ,  H01L2924/1306420130101 ,  H01L2924/1309120130101 ,  H01L2924/1420130101 ,  H01L2224/8295120130101