公开(公告)号：EP4423573A1

公开(公告)日：2024-09-04

申请号：EP21865366.5

申请日：2021-10-29

申请人： AT & S Austria Technologie & Systemtechnik Aktiengesellschaft

发明人： TRISCHLER, Heinrich ,  PREINER, Erich ,  SCALBERT, Marie

IPC分类号： G03F7/00 ,  H01L23/538 ,  H05K3/10

CPC分类号： H05K3/107 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/4857 ,  H01L23/13 ,  H01L23/5383 ,  H01L23/49822 ,  H05K2203/118920130101 ,  H05K2203/019520130101 ,  H05K2203/027820130101 ,  H05K2203/010820130101 ,  H05K2203/01620130101 ,  H05K2203/05820130101 ,  H05K2203/057120130101 ,  H05K3/0055 ,  H05K3/007 ,  H05K3/0014 ,  H05K3/465 ,  H05K3/421 ,  H05K2201/09620130101