摘要:
Eine Maschine (1) zur Bearbeitung eines Werkstückes mit einem Werkzeug (2), das eine Relativbewegung gegenüber dem Werkstück ausübt und das Werkzeug und/oder Werkstück zeitgleich kühlt. Insbesondere soll die Maschine (1) in Form einer Drucklufthandmaschine (1) zum Polieren oder Schleifen lackierter Oberflächen dienlich sein, wobei das durch den Druckluftantrieb (4) der Drucklufthandmaschine (1) rotierbare Polierkissen bzw. Schleifelement (2) mit seiner Unterfläche (3) in Anlage an die zu polierende bzw. schleifende Oberfläche gebracht wird. Zur Erhöhung des Wirkungsgrads einer derartigen Drucklufthandmaschine (1) wird vorgeschlagen, dass die Abluft des Druckluftantriebes (4) einem Wirbelrohr (16) zugeführt wird und dort in einen kalten (25) bzw. warmen (26) Gasstrom geteilt wird. Der kalte Gasstrom (25) wird mittels einer zweiten Gasleitvorrichtung (7,23,29) zum Polierkissen bzw. Schleifelement (2) geleitet und dort an der Unterfläche (3) des Polierkissens bzw. Schleifelementes (2) mittels ausgebildeter Kanäle (32) vom mittleren Bereich des Polierkissens bzw. Schleifelementes (2) zum Umfangsrand (31) abgeleitet.
摘要:
The cutting tool shown generally as (1), has a disc with a peripheral cutting face. In this embodiment the cutting face includes an array of eight circumferentially spaced teeth (2). An open circumferential gutter (5) is located inboard of the teeth and is recessed into a lateral face of the disc. Fluid in the gutter drains into the passageways through the respective inlets under the apparent force due to rotation. A fluid passageway (9) runs between the gutter and the base of the each tooth. The fluid is thereby forced through the passageway and out of outlet (11).
摘要:
According to an example embodiment, the present invention comprises a CMP pad conditioner arrangement. An inlet (130) is configured and arranged for receiving treatment elements. A distribution surface (140) is coupled to the inlet (130) and is configured and arranged to disperse the treatment elements. A multitude of outlets (110) are coupled to the distribution surface and are configured and arranged to dispense the treatment elements onto a CMP pad. Benefits of using this embodiment include enhanced pad cleaning, better slurry dispense, improved wafer quality, and faster production.
摘要:
Dispersion of cracks in a crack layer across a ground surface is reduced in chamfering a semiconductor silicon wafer (W). The semiconductor silicon wafer W is clamped by a clamp device (1), which is freely rotated and a polisher (8) having the shape of a ring built in a polishing device (2), which is freely rotated, is disposed in a place, said polisher (8) having a periphery Shaping edge (8a) on a peripheral side surface, wherein the polishing device (2) is moved in a radial direction of the wafer (W) so as to have the periphery shaping edge (8a) close to the periphery of the wafer (W), and the wafer (W) and the polishing device (2) are rotated relatively to each other, while slurry containing suspension of abrasive grains is supplied to a narrow space therebetween from a slurry supply nozzle (3).
摘要:
There is described a grinding wheel (1), particularly for grinding operations carried out on sheets of glass (2), ceramic material or similar materials, comprising a disc-shaped support with abrasive material arranged on the circumferential profile of the support, and an opposing central hole (3) for attachment to a drive shaft (4) of the grinding wheel. The disc-shaped support comprises a pair of opposed disc-shaped grinding wheel bodies (5, 6) coupled in a facing position so as to define together the abrasive grinding surface (5c, 6c) along the circumferential profile, and each of the disc-shaped bodies (5, 6) has a predetermined resilience such that the disc-shaped bodies (5, 6) can be flexed away from each other in the zone of contact with the component being ground, for the purpose of consequently applying pressure to the component in the grinding operation.
摘要:
Poliervorrichtung (100) zum Polieren eines zu polierenden Gegenstands, wobei die Poliervorrichtung (100) einen drehfähigen Trägerkörper (102), einen an dem Trägerkörper (102) befestigten Polierkörper (104) zum Polieren des zu polierenden Gegenstands (410), wenn der Polierkörper (104) mit dem Trägerkörper (102) dreht und auf den zu polierenden Gegenstand (410) einwirkt, und eine an dem Trägerkörper (102) vorgesehene Wärmeabführeinrichtung (106) zum Abführen von Wärme von der Poliervorrichtung (100) und/oder dem zu polierenden Gegenstand (410) aufweist, wenn der Polierkörper (104) mit dem Trägerkörper (102) dreht und der Polierkörper (104) den zu polierenden Gegenstand poliert.