公开(公告)号：EP4493895A1

公开(公告)日：2025-01-22

申请号：EP23716150.0

申请日：2023-03-16

Applicant: Illinois Tool Works, Inc.

Inventor： CHEN, Yuexin ,  LIU, Zhixue

IPC: G01J5/00 ,  F27D19/00 ,  F27B17/00 ,  F27D21/00 ,  G01J5/04 ,  G01J5/08 ,  F27B9/40 ,  G01J5/05

公开(公告)号：EP4386340A3

公开(公告)日：2025-01-01

申请号：EP24172530.8

申请日：2020-02-17

Applicant: Avago Technologies International Sales Pte. Limited

Inventor： Phair, John ,  Eckart, Lutz

IPC: G01J1/42 ,  G01J5/04 ,  G01J5/34 ,  G01J5/02 ,  G01J5/08 ,  H10N30/30 ,  H10N30/88

Abstract: The invention relates to a microsystem (1) comprising a substrate (12), a bottom electrode (3) arranged on the substrate (12), a ferroelectric layer (4) arranged on the bottom electrode (3), a top electrode (5) arranged on the ferroelectric layer (4) and an isolation layer (6) that is electrically isolating, that is arranged on the top electrode (5), that extends from the top electrode (5) to the substrate (12) so that the isolation layer (6) covers the bottom electrode (3), the ferroelectric layer (4) and the substrate (12) in a region around the complete circumference of the bottom electrode (3), and the isolation layer (6) has the shape of a ring that confines in its centre a through hole (11) that is arranged in the region of the top electrode (5).

公开(公告)号：EP3874245B1

公开(公告)日：2024-06-12

申请号：EP18796622.1

申请日：2018-10-29

IPC: G01J5/00 ,  G01J5/08 ,  G01J5/02 ,  G01J5/06 ,  G01J5/38 ,  G01J5/48 ,  G01J5/58

CPC classification number: G01J5/0003 ,  G01J5/0265 ,  G01J5/06 ,  G01J5/0853 ,  G01J5/0859 ,  G01J5/0896 ,  G01J5/38 ,  G01J5/58 ,  G01J2005/007720130101 ,  G01J2005/06520130101 ,  G01J2005/58320130101

公开(公告)号：EP4118405B1

公开(公告)日：2024-05-01

申请号：EP21712110.2

申请日：2021-03-11

IPC: G01J5/00 ,  G01J5/02 ,  G01J5/08 ,  G08B13/193 ,  H05B47/13

CPC classification number: G01J5/0025 ,  G01J5/08 ,  H05B47/13 ,  G01J5/02 ,  G08B13/193 ,  Y02B20/40

公开(公告)号：EP4004612B1

公开(公告)日：2024-04-17

申请号：EP20753485.0

申请日：2020-06-11

IPC: G02B5/20 ,  C03C4/10 ,  G01J5/04 ,  G01J5/08

CPC classification number: G02B5/208 ,  G01J5/046 ,  G01J5/0875 ,  F41G7/2293 ,  F41G7/2253 ,  G01J1/0407 ,  C04B2235/965320130101 ,  C04B35/505 ,  C04B35/053 ,  C04B2235/322420130101 ,  C04B2235/322520130101 ,  C04B2235/320820130101 ,  C04B2235/328420130101 ,  C04B2235/8020130101

公开(公告)号：EP4212962B1

公开(公告)日：2024-02-28

申请号：EP23156248.9

申请日：2019-05-16

Inventor： GRUNER, Toralf ,  HARTJES, Joachim ,  HAUF, Markus ,  BEURER, Gerhard

IPC: G03F7/00 ,  G01J5/00 ,  G01J5/04 ,  G01J5/07 ,  G01J5/0806 ,  G01J5/0831 ,  G01J5/08 ,  G02B7/00 ,  G02B7/18

公开(公告)号：EP4314740A1

公开(公告)日：2024-02-07

申请号：EP22715101.6

申请日：2022-03-22

Applicant: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

Inventor： BRÜNING, Robert ,  LEITEL, Robert ,  HUBOLD, Martin ,  QUENZER, Hans-Joachim ,  WEILER, Dirk

IPC: G01J5/04 ,  H01L27/146 ,  H01L31/0232 ,  G02B17/08 ,  G01J5/08 ,  G01J5/00

公开(公告)号：EP4116702B1

公开(公告)日：2024-01-03

申请号：EP22188361.4

申请日：2018-11-08

Inventor： MALLERY, Ryan ,  BALILA, Ohad Israel ,  KESTER, Robert Timothy

IPC: G01N21/35 ,  G01N21/15 ,  G01J3/02 ,  G01J5/00 ,  G01J5/08 ,  H04N5/33 ,  G01N21/3504 ,  G01J5/0806 ,  G01J3/28 ,  G01N21/17

公开(公告)号：EP3605041B1

公开(公告)日：2023-12-06

申请号：EP18778112.5

申请日：2018-03-13

Inventor： NAKAMURA Kenji ,  HIRANO Shingo

IPC: G01J1/02 ,  G01J5/10 ,  G01J5/00 ,  G01J5/06 ,  G01J5/08 ,  G01J5/16

公开(公告)号：EP3767259B1

公开(公告)日：2023-09-20

申请号：EP20185724.0

申请日：2020-07-14

Inventor： COOREMAN, Tom

IPC: G01J5/02 ,  G01J5/08 ,  G01J5/05 ,  G01J5/07