公开(公告)号：JP2017194040A

公开(公告)日：2017-10-26

申请号：JP2016086146

申请日：2016-04-22

Applicant: 株式会社島津製作所

Inventor： 小崎 純一郎

IPC: F04D19/04

CPC classification number: F04D17/168 ,  F04D19/042 ,  F04D25/06 ,  F04D27/001 ,  F04D29/058 ,  F04D29/28 ,  F04D29/444 ,  F04D29/584 ,  F05D2260/607

Abstract: 【課題】メンテナンス時期の推定精度の向上を図ることができる真空ポンプの提供。 【解決手段】監視装置100は、ベース温度センサ6により経時的に検出された複数のベース温度Tbに基づいて、ベース温度Tbが閾値である所定温度T2に達するメンテナンス時期を推定する推定部105と、推定された前記時期に基づくメンテナンス情報を出力する表示部104および出力部108とを備える。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2016169732A

公开(公告)日：2016-09-23

申请号：JP2016039623

申请日：2016-03-02

Applicant: プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー

Inventor： ミルコ・メコタ ,  トビアス・シュトル ,  ミヒャエル・シュヴァイクヘーファー

IPC: F04B37/16 ,  F04B39/12 ,  F04D19/04

CPC classification number: F04D19/04 ,  F04D17/168 ,  F04D29/403 ,  F04D29/601

Abstract: 【課題】本発明の課題は、簡単な方法で柔軟に使用可能である真空ポンプを提供することである。 【解決手段】課題は、少なくとも一つの溝状のくぼみを有する要素と接続されている、及び/又は溝状の少なくとも一つのくぼみ(14,14’)を有するハウジング(12)を有する真空ポンプであって、その際、真空ポンプにコンポーネントを接続するため、又は他のユニットに真空ポンプを固定するために、少なくとも一つの基本要素(22a,22b,22c,22d)が、溝状のくぼみと連結されていることを特徴とする真空ポンプにより解決される。 【選択図】 図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种灵活可用于简单方法的真空泵。解决方案：真空泵具有连接到具有至少一个凹槽形凹槽的元件的壳体（12），和/或具有至少一个凹槽形凹槽 （14,14'）。 为了将部件连接到真空泵或将真空泵固定到另一个单元上，至少一个基本元件（22a，22b，22c，22d）连接到凹槽形凹槽。图1

公开(公告)号：JP5512913B2

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：JP2006311604

申请日：2006-11-17

Applicant: プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー

Inventor： ユールゲン・ユング ,  イェルク・シュタンツェル

IPC: F04B37/14 ,  F04B39/00 ,  F04B39/12

CPC classification number: F04D19/04 ,  F04D17/168 ,  F04D29/083 ,  F04D29/601 ,  F16L23/032 ,  F16L23/20

公开(公告)号：JP5496487B2

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：JP2008262712

申请日：2008-10-09

Applicant: プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー

Inventor： ヨヘン・ベットヒェル

IPC: F04D19/04

CPC classification number: F04D17/168 ,  F04D19/042 ,  F04D27/0207 ,  F04D27/0261 ,  F04D27/0284

公开(公告)号：JP5432985B2

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：JP2011508253

申请日：2010-04-08

Applicant: 株式会社アルバック

Inventor： 文昭 石榑 ,  さかえ 稲吉 ,  辰也 三浦 ,  洋志 佐藤 ,  裕一 石川

IPC: C25D11/04 ,  C25D11/06 ,  F04D19/02 ,  F04D19/04

CPC classification number: F04D19/042 ,  C25D11/026 ,  C25D11/04 ,  C25D11/06 ,  F04C23/003 ,  F04C23/006 ,  F04C2220/12 ,  F04C2230/92 ,  F04D17/168 ,  F04D29/023 ,  F05C2201/021 ,  F05C2201/903 ,  F05D2230/90 ,  F05D2260/95 ,  F05D2300/121 ,  F05D2300/173

公开(公告)号：JP5297190B2

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：JP2008515272

申请日：2006-05-26

Applicant: エドワーズ リミテッド

Inventor： バリー ダドリー ブルースター ,  チャン チョン シウ

IPC: F04D19/04 ,  F04D17/16 ,  F04D29/056 ,  F04D29/059 ,  F04D29/66 ,  F16C35/077 ,  F16F15/04

CPC classification number: F04D29/668 ,  F04D17/168 ,  F04D19/04 ,  F04D29/0563 ,  F04D29/059 ,  F16C19/06 ,  F16C27/045 ,  F16C32/0425 ,  F16C33/6666 ,  F16C33/6685 ,  F16C2300/34 ,  F16C2360/45

公开(公告)号：JP5242916B2

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：JP2006527459

申请日：2004-09-16

Applicant: エドワーズ リミテッド

Inventor： ダレン メニー ,  ロン クラーク リー ,  ロバート ブルース グラント ,  バリー ダドリー ブルースター ,  ジョアン レイチェル グリーンウッド

IPC: F04B37/16 ,  B01J3/00 ,  B01J3/02 ,  F04D17/16 ,  F04D19/04 ,  F25J3/06 ,  G03F7/20 ,  G21K5/00 ,  G21K5/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3065

CPC classification number: F04D19/04 ,  F04D17/168 ,  F25J3/0685 ,  F25J2205/20 ,  F25J2215/36

公开(公告)号：JP4864198B2

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：JP2000353122

申请日：2000-11-20

Applicant: エドワーズ リミテッド

Inventor： ディヴィッド ストーンズ イアン

IPC: F04D19/04 ,  F04D17/16

CPC classification number: F04D19/046 ,  F04D17/168 ,  F04D19/044 ,  F04D23/008

公开(公告)号：JP4819277B2

公开(公告)日：2011-11-24

申请号：JP2001556016

申请日：2001-01-24

Applicant: ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングLeybold Vakuum GmbH

Inventor： エングレンダー ハインリヒ

IPC: F04D17/16 ,  F04D17/12 ,  F04D23/00

CPC classification number: F04D17/127 ,  F04D17/168

公开(公告)号：JP4667043B2

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：JP2004559871

申请日：2003-12-09

Applicant: エドワーズ リミテッド

Inventor： ナイジェル ポール スコーフィールド

IPC: F04D19/04 ,  F04D29/02

CPC classification number: F04D19/046 ,  F04D17/168 ,  F04D19/044 ,  F04D23/008 ,  F04D29/023 ,  F05D2300/121 ,  F05D2300/603