中科微点-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up

Search Results

16 records (took 0.021 seconds)

    セラミックヒータ及びその製法
    11.
    发明专利
    セラミックヒータ及びその製法 有权

    公开(公告)号：JPWO2020170800A1

    公开(公告)日：2021-03-11

    申请号：JP2020004093

    申请日：2020-02-04

    Applicant: 日本碍子株式会社

    Inventor： ▲のぼり▼ 和宏 ,  木村 拓二 ,  溝口 智久

    IPC: H05B3/74 ,  H05B3/02

    Abstract: セラミックヒータ10は、セラミックプレート20を備えている。外周側抵抗発熱体26は、セラミックプレート20の外周側ゾーンZ2に設けられている。ワイヤ線24は、セラミックプレート20の中央部に設けられた一対の端子23,23のそれぞれから外周側ゾーンZ2へ向かって延び出し、外周側ゾーンZ2に近い部分は直線部になっている。接続端子25は、ワイヤ線24と外周側抵抗発熱体26とを接続する導電性の部材であり、ワイヤ線24の直線部が挿入された第1穴と、外周側抵抗発熱体26の端部が挿入された第2穴とを有する。

    半導体製造装置用部材、その製法及び成形型
    12.
    发明专利
    半導体製造装置用部材、その製法及び成形型 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020161589A

    公开(公告)日：2020-10-01

    申请号：JP2019058056

    申请日：2019-03-26

    Applicant: 日本碍子株式会社

    Inventor： ▲のぼり▼ 和宏 ,  木村 拓二

    IPC: H05B3/74 ,  H05B3/03 ,  H01L21/02

    Abstract: 【課題】剥離のおそれがなく、強度が高く、製造するのが比較的容易な半導体製造装置用部材を提供する。 【解決手段】セラミックヒータ10は、電極14,16を内蔵するセラミック製の円板12と円板12を支持するセラミック製で円筒状のシャフト20とを備える。セラミックヒータ10は、接合界面を有さないものである。円板12の下面12bは、シャフト内側領域A1とシャフト外側領域A2とを有する。シャフト内側領域A1は、シャフト外側領域A2よりも一段凹んだ形状になっており、電極を露出させる電極露出穴14a,16aを有する。 【選択図】図2

    アルミナ焼結体の製法及びアルミナ焼結体
    15.
    发明专利
    アルミナ焼結体の製法及びアルミナ焼結体 审中-公开
    生产氧化铝烧结体和氧化铝烧结体的方法

    公开(公告)号：JP2016183067A

    公开(公告)日：2016-10-20

    申请号：JP2015063671

    申请日：2015-03-26

    Applicant: 日本碍子株式会社

    Inventor： ▲のぼり▼ 和宏 ,  木村 拓二

    IPC: C04B35/111

    CPC classification number: B32B18/00 ,  C04B35/111 ,  C04B35/62625 ,  C04B35/62675 ,  C04B35/62685 ,  C04B35/634 ,  C04B35/638 ,  C04B2103/408 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/445 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6023 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/784 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/96 ,  C04B2237/343

    Abstract: 【課題】高温での体積抵抗率や耐電圧の高いアルミナ焼結体の提供。 【解決手段】(a)Al 2 O 3 粉末、MgO粉末、MgF 2 粉末、溶媒、分散剤及びゲル化剤を含むスラリーを成形型に投入し、前記成形型内で前記ゲル化剤を化学反応させて前記スラリーをゲル化させたあと離型することにより、成形体を得る工程と、(b)該成形体を乾燥したあと脱脂し更に仮焼することにより、仮焼体を得る工程と、(c)前記仮焼体を1150〜1350℃でホットプレス焼成することにより、セラミック焼結体を得る工程と、を含むアルミナ焼結体の製法。前記工程(a)では、前記スラリーを調製するにあたり、Al 2 O 3 粉末として純度が99.9質量%以上のものを使用し、Al 2 O 3 粉末100質量部に対してMgO粉末を0.1〜0.2質量部、MgF 2 粉末を0.13質量部以下使用するアルミナ焼結体の製法。 【選択図】なし

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种在高温下具有高体积电阻率或高耐压的氧化铝烧结体。解决方案：提供一种氧化铝烧结体的制造方法，其包括：（a）获得成型体的步骤 通过将含有AlOpowder，MgO粉末，MgFowder，溶剂，分散剂和胶凝剂的浆料装入成型模具中，使胶凝剂使成型模具中的浆料凝胶化并从浆料中释放浆料; （b）通过干燥成型体获得煅烧体，然后脱脂和煅烧的步骤; 和（c）通过在1150〜1350℃下对煅烧体进行热压烧结而获得陶瓷烧结体的工序。 提供一种氧化铝烧结体的制造方法，其中在制备步骤（a）中的浆料时，使用纯度为99.9质量％以上的AlO粉末为0.1〜0.2质量％的MgO粉末，0.13质量ppm 基于100盎司的AlOpowder使用.mass或更少的MgFowder。选择图：无

Patent Agency Ranking