公开(公告)号：JP2014207409A

公开(公告)日：2014-10-30

申请号：JP2013085638

申请日：2013-04-16

Applicant: Tdk株式会社 ,  Tdk Corp ,  Tdk株式会社

Inventor： IKEDA YOSHIO ,  SAKAMOTO HIDEYA ,  TATEMOTO KAZUSHI ,  SASAKI MASASHI

IPC: H01L41/047 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  H01L41/09 ,  H01L41/257 ,  H01L41/29 ,  H01L41/31 ,  H01L41/43

Abstract: 【課題】表面電極が剥がれる事態が抑制された圧電素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】圧電アクチュエータ素子1は、圧電体層11と、圧電体層11の表面11aに設けられ、圧電体層11を活性化する活性部22と、外部配線に接続される接続部23とを有する表面電極21とを備え、接続部23が、圧電体層11に埋まるとともに圧電体層11の側に突出する凸部23aを有する。このような圧電アクチュエータ素子1においては、表面電極21の接続部23は、凸部23aにより圧電体層11との間の接合強度が高められているため、接続部23において表面電極21が剥がれる事態が抑制されている。【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种防止表面电极剥离的压电元件，并提供其制造方法。解决方案：压电致动器元件1包括：压电层11; 以及表面电极21，其具有设置在压电层11的表面11a上并激活压电层11的有源部分22以及连接到外部布线的连接部分23。 连接部23嵌入到压电层11中，并且具有在压电体层11的一侧突出的凸部23a。在这样的压电促动元件1中，表面电极21的连接部23与 压电层11由突出部23a增强，从而防止表面电极21在连接部23处的剥离。

公开(公告)号：JP2014197576A

公开(公告)日：2014-10-16

申请号：JP2013071592

申请日：2013-03-29

Applicant: セイコーエプソン株式会社 ,  Seiko Epson Corp

Inventor： NAKAYAMA MASAO

IPC: H01L41/31 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113

Abstract: 【課題】圧電素子を保護することができると共に配線の断線や異物の発生を抑え、高密度に配設することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波トランスデューサー及び超音波デバイスを提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室12が設けられた流路形成基板10と、該流路形成基板10の一方面側に設けられて、第1電極60、圧電体層70及び第2電極80を有する圧電素子300と、を具備する液体噴射ヘッドであって、前記第1電極60と前記第2電極80とで挟まれた実質的な駆動部となる能動部310を複数有し、前記第1電極60が前記能動部310毎に設けられた個別電極であり、前記第2電極80が複数の前記能動部310に亘って設けられた共通電極であり、前記圧電体層70は、複数の能動部310に亘って設けられており、当該圧電体層70には、複数の前記能動部31の間に凹部71が設けられており、前記凹部71の少なくとも側面上には、前記第2電極80が形成されていない。【選択図】図4

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够保护压电元件的液体注入头，液体注入装置，压电元件，超声波换能器和超声波装置，抑制布线断线的发生或异物的产生，以及 实现高密度布线。解决方案：液体注入头包括通道形成板10，其配备有与用于注入液体的喷嘴开口相连通的压力产生室12，以及压电元件300，其设置在 并且具有第一电极60，压电层70和第二电极80.设置了基本上用作夹在第一电极60和第二电极80之间的驱动部分的多个有源部分310。 第一电极60是为每个有源部分310设置的单独电极，第二电极80是跨越多个有源部分310设置的公共电极。压电层70跨越多个有效部分310， 并且压电层70在多个有效部31之间设置有凹部71.第二电极80至少不形成在凹部71的侧面。

公开(公告)号：JPWO2012111279A1

公开(公告)日：2014-07-03

申请号：JP2012557820

申请日：2012-02-09

Applicant: パナソニック株式会社

Inventor： 勝村　英則 ,  英則 勝村 ,  加賀田　博司 ,  博司 加賀田

IPC: H01L41/31 ,  H01L41/047 ,  H01L41/187 ,  H01L41/29 ,  H01L41/317 ,  H01L41/319 ,  H01L41/43

CPC classification number: H01L41/053 ,  C23C8/18 ,  C23C24/10 ,  C23C24/106 ,  C23C28/321 ,  C23C28/345 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/094 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/319

Abstract: 圧電素子は金属基板と、アルミナ層と、下部電極と、圧電体層と、上部電極とを有する。金属基板は鉄を主成分とし、少なくともアルミニウムとクロムとを含む。アルミナ層は金属基板上に形成され、下部電極はアルミナ層上に形成されている。圧電体層は下部電極上に形成され、上部電極は圧電体層上に形成されている。アルミナ層は主としてγ−アルミナ相の粒子で形成されている。

公开(公告)号：JP5344120B2

公开(公告)日：2013-11-20

申请号：JP2008169799

申请日：2008-06-30

Applicant: セイコーエプソン株式会社

Inventor： 欣山 李

IPC: H01L41/09 ,  B05C5/00 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/135 ,  B41J2/14 ,  B41J2/16 ,  H01L41/22 ,  H01L41/31 ,  H01L41/319

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1643 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  B41J2002/14491 ,  H01L41/0973 ,  Y10T29/42

Abstract: Provided is an actuator device including a piezoelectric element formed of a lower electrode, a piezoelectric layer, and an upper electrode, and displaceably provided on a substrate with a zirconium oxide layer interposed therebetween, the substrate having a silicon oxide layer formed by thermal oxidation on at least a surface, and an intermediate layer made of at least one material selected from the group consisting of titanium oxide, hafnium oxide, aluminum oxide, calcium oxide, and rare earth oxide, and provided between the silicon oxide layer and the zirconium oxide layer.

公开(公告)号：JP2013541805A

公开(公告)日：2013-11-14

申请号：JP2013526078

申请日：2011-08-23

Applicant: ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ

Inventor： シャルマ，ラジディープ ,  ウィーバー，スタントン・アール，ジュニア ,  クエンツラー，グレン・ハワード ,  アリック，メハメト ,  アレン，ゲーリー・ロバート ,  ナール，ジェフリー・マーク

IPC: F21S2/00 ,  F21V23/00 ,  F21V29/00 ,  F21V29/02 ,  F21Y101/02 ,  H01L33/00 ,  H01L41/09 ,  H01L41/31

CPC classification number: F21V29/02 ,  F04B43/046 ,  F21K9/232 ,  F21K9/64 ,  F21V3/02 ,  F21V7/041 ,  F21V7/05 ,  F21V7/22 ,  F21V13/02 ,  F21V13/04 ,  F21V17/12 ,  F21V29/505 ,  F21V29/506 ,  F21V29/63 ,  F21V29/77 ,  F21V29/83 ,  F21Y2115/10

Abstract: 【課題】固体照明システムと他の電子システムとのための熱管理システムを提供すること。
【解決手段】１以上の電子部品を含む装置が提供される。 また、装置は、１以上の電子部品を囲むエンクロージャを含む。 このエンクロージャは、メンブレンによって画成された１以上の壁を含む。 装置は、第１の端部に固定され、第２の端部でメンブレンに堅く取り付けられた圧電アクチュエータを更に含む。 圧電アクチュエータへの交番電流の印加によって、メンブレンにおける振動する機械的変形が生み出される。
【選択図】 図１

Abstract translation: 提供了包括至少一个电子部件的装置。 该装置还包括封闭至少一个电子部件的外壳。 外壳包括由膜限定的至少一个壁。 该装置还包括压电致动器，该压电致动器固定在第一端并且在第二端处刚性地附接到膜。 将交流电应用于压电致动器产生膜的脉动机械变形。

公开(公告)号：JP5314932B2

公开(公告)日：2013-10-16

申请号：JP2008137186

申请日：2008-05-26

Applicant: 太陽誘電株式会社

Inventor： 龍一 近藤 ,  中村　　健太郎

IPC: H01L41/31 ,  B81B3/00 ,  H01H57/00 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H01L41/39 ,  H02N2/00

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an MEMS switch for suppressing warpage of a material due to stress, and reducing dispersion of an electric characteristic. SOLUTION: This switch includes: drive parts 8a and 8b each having a plate-like elastic body with one end or both ends fixed to a board, a lower electrode formed on the upper surface of the elastic body, a piezoelectric body formed on the upper surface of the lower electrode and an upper electrode formed on the upper surface of the piezoelectric body; a contact 8c formed in a part of the drive parts; a signal line 3b with at least one end fixed to the board and extended to the contact; and a lock part 9 jointed to the board to support the drive parts 8a and 8b and formed of an insulating material. The drive parts 8a and 8b contact the signal line 3b through the contact 8c, and the lock part 9 supports the drive parts 8a and 8b from the side opposite to the signal line 3b. For instance, when the lock part 9 is structured to support the drive parts 8a and 8b in a hole, a cutout part or the like, warpage of a material due to stress is suppressed. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于抑制由于应力引起的材料翘曲并减小电特性的分散的MEMS开关。 解决方案：该开关包括：驱动部分8a和8b，每个驱动部件8a和8b均具有固定到板的一端或两端的板状弹性体，形成在弹性体的上表面上的下电极，形成的压电体 在所述下电极的上表面上，形成在所述压电体的上表面上的上电极; 形成在所述驱动部的一部分中的接触件8c; 信号线3b，其至少一端固定到板并延伸到触点; 以及与板接合以支撑驱动部分8a和8b并由绝缘材料形成的锁定部分9。 驱动部分8a和8b通过触点8c接触信号线3b，并且锁定部分9从与信号线3b相反的一侧支撑驱动部分8a和8b。 例如，当锁定部9被构造成将驱动部8a和8b支撑在孔，切口部等中时，抑制了由于应力引起的材料翘曲。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2009283874A

公开(公告)日：2009-12-03

申请号：JP2008137186

申请日：2008-05-26

Applicant: Taiyo Yuden Co Ltd ,  太陽誘電株式会社

Inventor： KONDO RYUICHI ,  NAKAMURA KENTARO

IPC: H01L41/09 ,  B81B3/00 ,  H01H57/00 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H01L41/31 ,  H01L41/39 ,  H02N2/00

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an MEMS switch for suppressing warpage of a material due to stress, and reducing dispersion of an electric characteristic. SOLUTION: This switch includes: drive parts 8a and 8b each having a plate-like elastic body with one end or both ends fixed to a board, a lower electrode formed on the upper surface of the elastic body, a piezoelectric body formed on the upper surface of the lower electrode and an upper electrode formed on the upper surface of the piezoelectric body; a contact 8c formed in a part of the drive parts; a signal line 3b with at least one end fixed to the board and extended to the contact; and a lock part 9 jointed to the board to support the drive parts 8a and 8b and formed of an insulating material. The drive parts 8a and 8b contact the signal line 3b through the contact 8c, and the lock part 9 supports the drive parts 8a and 8b from the side opposite to the signal line 3b. For instance, when the lock part 9 is structured to support the drive parts 8a and 8b in a hole, a cutout part or the like, warpage of a material due to stress is suppressed. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于抑制由于应力引起的材料翘曲并减小电特性的分散的MEMS开关。 解决方案：该开关包括：驱动部分8a和8b，每个驱动部件8a和8b均具有固定到板的一端或两端的板状弹性体，形成在弹性体的上表面上的下电极，形成的压电体 在所述下电极的上表面上，形成在所述压电体的上表面上的上电极; 形成在所述驱动部的一部分中的接触件8c; 信号线3b，其至少一端固定到板并延伸到触点; 以及与板接合以支撑驱动部分8a和8b并由绝缘材料形成的锁定部分9。 驱动部分8a和8b通过触点8c接触信号线3b，并且锁定部分9从与信号线3b相反的一侧支撑驱动部分8a和8b。 例如，当锁定部9被构造成将驱动部8a和8b支撑在孔，切口部等中时，抑制了由于应力引起的材料翘曲。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2021133478A

公开(公告)日：2021-09-13

申请号：JP2020033456

申请日：2020-02-28

Applicant: 京セラ株式会社

Inventor： 日迫 彰 ,  菊池 通真

IPC: H03H9/24 ,  H01L41/053 ,  H01L41/31 ,  H01L41/09 ,  B81B3/00

Abstract: 【課題】より安定かつ適正に動作させることのできるMEMS素子及び圧電共振デバイスを提供する。 【解決手段】MEMS素子(100)は、共振部(150)を有する素子基板(110)と、素子基板(110)上で素子基板(110)に対して平面視で共振部(150)を取り囲んで位置し、素子基板(110)をこの素子基板(110)の接合対象と接合する接合部材(160)と、接合部材(160)が取り囲む範囲の外側に位置し、共振部(150)と電気的に接続される接続端子(181、183)と、を備える。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP2021005785A

公开(公告)日：2021-01-14

申请号：JP2019118379

申请日：2019-06-26

Applicant: 信越化学工業株式会社

Inventor： 丹野 雅行 ,  秋山 昌次

IPC: H03H3/08 ,  H01L41/187 ,  H01L41/337 ,  H01L41/31 ,  H03H9/25

Abstract: 【課題】特性が改善された表面弾性波デバイス用複合基板を提供する。 【解決手段】本発明に係る表面弾性波デバイス用複合基板は、圧電単結晶基板と支持基板とを含んで構成される。圧電単結晶基板と支持基板との間には介在層が存在しており、介在層内の化学吸着水の量が1×10 20 分子/cm 3 以下である。圧電単結晶基板と支持基板との接合界面部において、少なくとも圧電単結晶基板と支持基板の何れか一方は凹凸構造を有しているとよく、凹凸構造の断面曲線における要素の平均長さRSmと表面弾性波デバイスとして使用する際の表面弾性波の波長λとの比を0.2以上7.0以下とすることが好ましい。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP2020191492A

公开(公告)日：2020-11-26

申请号：JP2019094369

申请日：2019-05-20

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 佐藤 晃 ,  志村 寿一 ,  木嶋 薫

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/083 ,  H01L41/187 ,  H01L41/31 ,  B06B1/06 ,  H04R17/00

Abstract: 【課題】変位の低下が抑制される振動デバイスを提供する。 【解決手段】振動デバイス1は、圧電素子10と、粘着層50とを備えている。圧電素子は、互いに対向している一対の主面11a,11bを有している。粘着層50は、一方の主面11b上に配置されており、一方の主面11bと接している。粘着層50の引張強さは、10N/cm以上48N/cm以下である。 【選択図】図2