公开(公告)号：JP2021190537A

公开(公告)日：2021-12-13

申请号：JP2020093699

申请日：2020-05-28

Applicant: 学校法人早稲田大学

Inventor： 柳谷 隆彦 ,  木下 紗里那

IPC: H01L41/253 ,  H01L41/31 ,  H01L41/187 ,  H02J50/27 ,  H01Q1/50 ,  H01L41/107

Abstract: 【課題】量産に適した圧電トランスを提供する。 【解決手段】圧電トランス10は、第1の厚さd 1 を有し第1の圧電材料製であって分極が所定の第1方向を向いている入力側圧電膜11と、入力側圧電膜11に隣接して設けられた、第2の厚さd 2 を有し第2の圧電材料製の圧電膜であって、該第2の圧電材料の誘電率ε 2 が前記第1の圧電材料の誘電率ε 1 の(d 2 /d 1 )倍よりも小さく、該第2の厚さd 2 が該圧電膜内の音速v 2 、前記入力側圧電膜内の音速v 1 を用いて0.5×(v 2 /v 1 )d 1 ≦d 2 ≦2.0×(v 2 /v 1 )d 1 で表される範囲内であり、分極が所定の第2方向を向いている出力側圧電膜12と、入力側圧電膜11の両面に設けられた1対の入力電極(第1入力電極131、第2入力電極132)と、出力側圧電膜12の両面に設けられた1対の出力電極(第1出力電極141、第2出力電極142)とを備える。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2021177609A

公开(公告)日：2021-11-11

申请号：JP2020082667

申请日：2020-05-08

Applicant: 信越化学工業株式会社

Inventor： 永田 和寿

IPC: H01L41/187 ,  H01L41/31 ,  H03H3/08

Abstract: 【課題】 膜厚均一性が良く、イオン注入によって特性劣化の影響がない圧電性単結晶膜を備えた複合基板の製造方法を提供する。 【解決手段】 本発明の圧電性単結晶膜11を備えた複合基板10の製造方法は、タンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムからなる圧電性単結晶基板1をイオン注入処理してイオン注入層11を形成する工程(a)と、圧電性単結晶基板1のイオン注入層11が形成された面と仮接合基板2とを接合する工程(c)と、圧電性単結晶基板1をイオン注入層11とその残りの部分とに分離し、仮接合基板2上に圧電性単結晶膜11を形成する工程(d)と、圧電性単結晶膜11の仮接合基板の接合面と対向する面に、支持基板3を接合する工程(f)と、仮接合基板を圧電性単結晶膜11から分離する工程(g)とを含む。 【選択図】 図1

公开(公告)号：JP2020191493A

公开(公告)日：2020-11-26

申请号：JP2019094370

申请日：2019-05-20

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 佐藤 晃 ,  志村 寿一 ,  木嶋 薫

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/31 ,  B06B1/06 ,  H04R17/00

Abstract: 【課題】音圧特性を確保しつつ、小型化が図られている音響デバイスを提供する。 【解決手段】圧電素子10と、圧電素子10が取り付けられる被取付部材60と、圧電素子10と被取付部材60との間に設けられているスペーサ50と、を備えている。被取付部材60は、圧電素子10の主面11bと対向している。スペーサ50は、圧電素子10と被取付部材60との間に音響空間ASを形成する。スペーサ50は、圧電素子10の主面11bに接している主面51aと、被取付部材60と接している主面51bとを有している粘着層51である。 【選択図】図2

公开(公告)号：JPWO2019220724A1

公开(公告)日：2020-05-28

申请号：JP2019005960

申请日：2019-02-19

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 堀 裕二 ,  高垣 達朗

IPC: C23C14/08 ,  H01L41/187 ,  H01L41/31 ,  H03H9/25 ,  C23C14/10

Abstract: 【課題】圧電性材料基板1(1A)を支持基板3に対して接合層2Aを介して接合するのに際して、得られた接合体を加熱処理に供したときにも接合体の破損や圧電性材料基板1(1A)の剥離が生じないようにする。 【解決手段】 接合体は、支持基板3、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムおよびニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウムからなる群より選ばれた材質からなる圧電性材料基板1(1A)、および支持基板3と圧電性材料基板1(1A)とを接合し、圧電性材料基板1(1A)の接合面1aに接している接合層2Aを備える。接合層2Aに、圧電性材料基板1(1A)から支持基板3へと向かって伸びるボイド22、23が設けられている。ボイド22、23の支持基板側末端22b 、23b の幅t2のボイド22、23の圧電性材料基板側末端22a、23aの幅t1に対する比率(t2/t1)が0.8以下である。 【選択図】 図7

公开(公告)号：JP2020053499A

公开(公告)日：2020-04-02

申请号：JP2018179768

申请日：2018-09-26

Applicant: 三菱マテリアル株式会社

Inventor： 濱 大祐

IPC: H01L41/187 ,  H01L41/31

Abstract: 【課題】高温での熱処理が必要な高配向の圧電膜を耐熱性の低い樹脂層上に形成することが可能になる。 【解決手段】本発明の製造方法は、劈開性基板の上面に、圧電膜を熱処理を行って形成する工程と、圧電膜の上面に、樹脂層を形成する工程と、劈開性基板の圧電膜側を剥離する工程と、を含み、樹脂層を構成する樹脂の融点、軟化点又は荷重たわみ温度が、熱処理の処理温度よりも低い、ことを特徴とする。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2019057699A

公开(公告)日：2019-04-11

申请号：JP2017182838

申请日：2017-09-22

Applicant: 富士フイルム株式会社

Inventor： 新川 高見

IPC: H01L41/39 ,  H01L41/316 ,  H01L41/113 ,  H01L41/09 ,  H01L41/31 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08 ,  H01L41/187

Abstract: 【課題】リチウム等のアルカリ金属を実質的に含有しないZnO系圧電体膜を有し、優れた圧電特性を有する圧電素子の提供を課題とする。また、圧電素子の製造方法も課題とする。 【解決手段】Caを含有するZnO系圧電体膜と、ZnO系圧電体膜を挟んで対向する、第1電極及び第2電極と、を有し、第1電極から第2電極に向かうZnO系圧電体膜の厚み方向に沿って、Caの含有量とZnの含有量との和に対するCaの含有量の含有モル比Rが増加する第1領域を、ZnO系圧電体膜が有する、圧電素子。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP6144594B2

公开(公告)日：2017-06-07

申请号：JP2013202331

申请日：2013-09-27

Applicant: セイコーインスツル株式会社

Inventor： 篠原 陽子 ,  大海 学 ,  内山 武

IPC: H01L41/113 ,  H01L41/31 ,  H01L29/84 ,  G01L9/00

公开(公告)号：JP2015157382A

公开(公告)日：2015-09-03

申请号：JP2014032547

申请日：2014-02-24

Applicant: ブラザー工業株式会社

Inventor： 加藤 安朗

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/047 ,  H01L41/31 ,  B41J2/14 ,  B41J2/16

CPC classification number: B41J2/14233 ,  H01L41/0475 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0973 ,  B41J2002/14266 ,  B41J2002/14459 ,  B41J2002/14491

Abstract: 【課題】2枚の圧電層が積層された構成の圧電アクチュエータにおいて、一方の圧電層の、他方の圧電層のスルーホールと重なる部分にクラックが生じている場合に、クラックからスルーホールの外へ溢れ出た接着剤が、前記一方の圧電層に形成された電極まで広がることを防止する。 【解決手段】圧電層41の上面の、複数の個別電極44よりも外側の領域には第1導電パターン51が形成されている。第1導通パターン51は、圧電層41を貫通するスルーホール41a内に配置された導通部55によって、共通電極45と導通している。さらに、圧電層41の上面の、複数の個別電極44が形成されている領域と、第1導電パターン51のスルーホール41aが形成されている領域との間には、第2導電パターン52が形成されている。 【選択図】図3

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种液体排出装置，当在与该侧面重叠的部分上产生裂纹时，防止从通孔的外部溢出的粘合剂向一侧压电层形成的电极扩散 压电致动器中的一侧压电层的另一侧压电层的通孔构成为两层压电体层叠的结构。解决方案：第一导电图案51形成在外侧的区域上 在压电层41的上表面上形成多个单独的电极44.第一导电图案51通过布置在穿过压电层41的通孔41a中的导电部分55与公共电极45一起导通。另外， 导电图案52形成在其上形成有多个单独电极44的区域之间，压电层41的上表面和区域 形成有第一导电图案51的通孔41a。

公开(公告)号：JP2015080892A

公开(公告)日：2015-04-27

申请号：JP2013219347

申请日：2013-10-22

Applicant: 株式会社東芝 ,  東芝テック株式会社

Inventor： 小針 紳二

IPC: B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  H01L41/09 ,  H01L41/31 ,  H01L41/047 ,  H01L41/335 ,  B41J2/16

Abstract: 【課題】より確実に導体パターンが形成されるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。 【解決手段】インクジェットヘッドの製造方法は、インクを吐出する圧力室を構成する圧電部材が固定された基板の表面に金属膜を形成し、レーザーにより金属膜の一部を除去して圧電部材を駆動するための導体パターンを形成する際に、第1の領域と、第1の領域に隣接し金属膜の基板との密着力が第1の領域よりも高い第2の領域と、に跨がる除去対象部分の金属膜を除去する場合に、第1のパワーのレーザー走査により除去対象部分の第1の領域側の金属膜を除去し、除去対象部分の第2の領域側の金属膜を、第1のパワーのレーザーの走査範囲の一部と重なる走査範囲に対する、第1のパワーよりも大きい第2のパワーのレーザー走査により除去する。 【選択図】図3

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够更可靠地形成导体图案的喷墨头的制造方法。解决方案：喷墨头的制造方法包括以下步骤：在基板的表面上形成金属膜 构成用于排出墨的压力室的压电元件被固定到其上; 在通过第一区域延伸的要移除的部分的金属膜和与第一区域相邻的第二区域的情况下，移除通过第一功率的激光扫描要去除的部分的第一区域侧的金属膜 并且当通过激光束去除金属膜的一部分并且形成用于驱动压电元件的导体图案时，具有大于第一区域的金属膜的粘合力被去除。 以及相对于与第一功率的激光束的扫描范围的一部分重叠的扫描范围，通过大于第一功率的第二功率的激光扫描来除去要去除的部分的第二区域侧的金属膜。

公开(公告)号：JP2014241312A

公开(公告)日：2014-12-25

申请号：JP2013122335

申请日：2013-06-11

Applicant: 株式会社リコー ,  Ricoh Co Ltd

Inventor： SATO MASAAKI

IPC: H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/047 ,  H01L41/29 ,  H01L41/31 ,  H01L41/332

Abstract: 【課題】駆動効率の低下を最小限に抑えながら、圧電素子の変位による応力が発生しても、電極材料に剥離、浮き、クラック等が発生しにくく、信頼性の高い圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法、記録ヘッド、および、画像形成装置を提供する。【解決手段】インクジェットヘッド10を、ノズル11を有するノズル板12と、ノズル11が連通する液室13と、この液室13が設けられたアクチュエータ基板14と、液室13に振動を伝える振動板15と、液室13内の液体を加圧する圧電素子16と、を備えて構成する。圧電素子16を、圧電体層17と、上部電極18と、下部電極19とで構成する。上部電極18に、圧電素子16の伸縮振動方向に交差する方向に延びるスリット形状の応力緩衝部20を、上部電極18が分離しないように設ける。【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种抑制驱动效率降低至最小的压电致动器，即使由于压电元件的位移而产生应力，也可抑制电极材料的脱离，浮动和裂纹的发生; 压电致动器的制造方法; 录音头 喷墨头10，具有喷嘴11，与喷嘴11连通的液体室13，设置有液体室13的致动器基板14，隔膜 将振动传递到液体室13的压电元件16以及对液体室13内的液体施加压力的压电元件16.压电元件16包括压电层17，上部电极18和下部电极19.上部 电极18设置有与压电元件16的伸缩方向交叉的方向延伸的狭缝状应力缓冲部20，使得上部电极18不与压电体层17分离。