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公开(公告)号:JP6631295B2
公开(公告)日:2020-01-15
申请号:JP2016024089
申请日:2016-02-10
申请人: ウシオ電機株式会社
IPC分类号: G02B5/30 , G02F1/1335 , G02F1/1337 , C23C14/34 , G02B5/22
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公开(公告)号:JP2018113117A
公开(公告)日:2018-07-19
申请号:JP2017001593
申请日:2017-01-10
申请人: ウシオ電機株式会社
IPC分类号: F21V9/00 , F21V29/502 , F21V29/70 , F21V29/85 , F21Y115/30 , F21S2/00
摘要: 【課題】 高い発光効率を安定的に得ることのできる蛍光光源装置およびその製造方法の提供。 【解決手段】 蛍光光源装置は、多結晶体からなる蛍光発光層を有し、この蛍光発光層の励起光入射側に周期構造体が形成された蛍光板を備え、前記蛍光板は、前記蛍光発光層の励起光入射側の一面に形成された接合層を介して設けられた熱拡散層を有すると共に、励起光入射側とは反対側に高熱伝導層を有しており、前記高熱伝導層は、光反射層、および、金属よりなる金属接合層からなり、前記蛍光板は、前記高熱伝導層側に配置された放熱基板の表面の一部を覆うよう設けられ、前記接合層は、シリカおよびアルミナを含有し、シリカとアルミナとの混合割合が厚み方向に連続的または段階的に変化する状態の傾斜膜よりなることを特徴とする。 【選択図】 図1
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公开(公告)号:JP2017015666A
公开(公告)日:2017-01-19
申请号:JP2015135710
申请日:2015-07-06
摘要: 【課題】 局在型表面プラズモン共鳴センサにおいて、回折光干渉の影響のない高品質のセンシングを再現性良く安定して行うことのできる方法及びシステムを提供する。 【解決手段】 表面に形成された多数の突起部722より成る金属製微細構造物72を有するセンサチップ7に試料流体Sを導入し、光源1からの光を照射し、その透過光を受光側光学素子5を介して受光器3で受光して分光強度を測定することで局在型表面プラズモン共鳴の発生波長を特定する。発生波長のシフトの有無により試料中の目的物質の有無を調べる。光学素子51,32,52により、多数の突起部の平均配置ピッチd、測定波長域の中心値λ 0 、センサチップ7の光源1の発光部の視角α、受光器3における透過光の取り込み角βについて、sinα+sinβ 0 /dの関係を成立させる。 【選択図】 図8
摘要翻译: 以提供局部表面等离子体共振传感器中,提供了一种能够与衍射光的干涉良好的再现性稳定地没有影响进行高品质的感测的方法和系统。 具有金属微结构72由若干通过引入样品流体小号在表面上形成凸部722的,来自光源1,光接收侧的透射光的光照射的一个传感器芯片7 通过测量光谱强度识别所述局部表面等离子体共振的发生波长被光接收器3经由光学元件5接收。 所产生的波长的移动的存在或不存在于样品中检查目标物质。 光学元件51,32,52,多个突起的平均配置间距d,在测量波长范围内的中心值λ0时,光的视角α发光传感器芯片7,所发射的光的光接收器3的β接受角的光源1的部 为,为了建立sinα+sinβ<λ0/ D的关系。 点域8
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公开(公告)号:JP2017015665A
公开(公告)日:2017-01-19
申请号:JP2015135709
申请日:2015-07-06
IPC分类号: G01N21/41
摘要: 【課題】 高感度のセンシングを再現性良く安定して行えるセンサチップ及びそのようなセンサチップを高い信頼性で製造できる製造方法を提供する。 【解決手段】 基板1上にフォトリソグラフィにより誘電体製のベース3が形成され、ベース3に対して金属膜94を作成することで多数の突起部22を有する金属製微細構造物2が形成される。微細構造物2の表面にはバインダ81によりリガンドとしての抗体82が固定され、試料流体S中の目的物質としての抗原83は抗体82により捕捉される。微細構造物2において発生する局在型表面プラズモン共鳴の発生波長のシフトの有無により、抗原83の有無が判断される。各突起部22の離間距離は、各突起部22からの回折光の干渉の影響が排除できる程度に不均等なものとされている。 【選択図】 図5
摘要翻译: 为了提供高灵敏度的再现性的感测和稳定的传感器的制造方法是由芯片和执行这样的传感器芯片能够以高可靠性来制造。 通过在光刻衬底1上形成由底座3的电介质,通过创建一个金属膜94在基体3具有多个凸部22的金属微结构2形成 这一点。 作为配体的微结构2抗体82的表面通过粘合剂81固定,如在样品流体S中的目标物质的抗原83与抗体82捕获。 通过在微结构2中,抗原83的存在或不存在发生在局部表面等离子体共振所产生的波长的移动的存在或不存在被确定。 每个凸部22的距离,衍射光的干涉的影响,假定足够不等以从凸部22排除。 点域5
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公开(公告)号:JP5867439B2
公开(公告)日:2016-02-24
申请号:JP2013075246
申请日:2013-03-29
申请人: ウシオ電機株式会社
IPC分类号: G02F1/1337 , G02B5/30
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39.グリッド偏光素子、紫外線偏光光照射方法、紫外線偏光光照射装置、光配向層付き基板の製造方法及び光配向装置 有权
标题翻译: 用于发射偏振超紫外光的网状极化元件,方法和装置,用于制造具有光学对准层和光学对准装置的基板的方法公开(公告)号:JP2015125280A
公开(公告)日:2015-07-06
申请号:JP2013269614
申请日:2013-12-26
申请人: ウシオ電機株式会社
发明人: 鶴岡 和之
IPC分类号: G02F1/1335 , G02B5/30
CPC分类号: G02B5/3058 , G02B5/3075
摘要: 【課題】 非反射型のグリッド偏光素子であって、製造が容易で、紫外線を対象波長とするような酸化が生じ易い条件で使用される場合にも所望の偏光性能が安定して得られるようにする。 【解決手段】 透明基板1上に設けられた縞状のグリッド2は、窒化チタン又は及び酸窒化チタンで形成された主たる層を有し且つ単体金属の層を含まない多数の線状部21で形成され、s偏光光を選択的に吸収し、p偏光光を透過することで光を偏光させる。各線状部21は、紫外線を偏光させることができる間隔tで離間している。水銀ランプ51からの紫外線はグリッド偏光素子53で偏光され、紫外線偏光光がワーク10に照射されることで、ワーク10が光配向される。 【選択図】 図1
摘要翻译: 要解决的问题:提供一种容易制造的非反射型栅极偏振元件,即使在以紫外光为目标波长的容易引起氧化的条件下使用也能够稳定地获得期望的极化性能。解决方案:条纹栅格2 设置在透明基板1上具有由氮化钛和/或氮氧化钛形成的主层,由多个直线部分21形成,而不包括单个金属层,并且通过选择性地吸收s偏振光并透射p偏振光来使光偏振。 每个线性部分21以允许紫外光的偏振的间隔t隔开。 来自水银灯51的紫外线被栅极偏振元件53极化,通过用偏振紫外光照射工件10而将工件10光学对准。
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