专利检索 ap:"エリコン・サーフェス・ソリューションズ・アクチェンゲゼルシャフト,プフェフィコーン" 第 5 页

41.

发明专利
Mo−Si−B層およびそれを製造する方法有权

公开(公告)号：JP6895259B2

公开(公告)日：2021-06-30

申请号：JP2016569676

申请日：2015-05-26

申请人： エリコン・サーフェス・ソリューションズ・アクチェンゲゼルシャフト,プフェフィコーン , OERLIKON SURFACE SOLUTIONS AG, PFAEFFIKON

发明人： ラッハバウアー,リヒャルト , アーンツ,ミリヤム , マイルホーファー,ポール・ハインツ , ポルツィク,ペーター , フィーベーク,アンニカ , カラス,イジー , リードル,ヘルムート

IPC分类号： C23C14/58 , C22C27/04 , B21D37/01 , C23C14/06

42.

发明专利
回転対称処理対象物を保持するための磁気手段を含む固定具有权

公开(公告)号：JP6861160B2

公开(公告)日：2021-04-21

申请号：JP2017542154

申请日：2016-02-15

申请人： エリコン・サーフェス・ソリューションズ・アクチェンゲゼルシャフト,プフェフィコーン , OERLIKON SURFACE SOLUTIONS AG, PFAEFFIKON

发明人： キム,ドンジュ , ケプリンガー,クリスティアン , ベスター,アルミン , ベッカー,ユルゲン

IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/458 , C23C14/50

43.

发明专利
熱安定性が高められたAl−Crベースのセラミックコーティング审中-公开

公开(公告)号：JP2021504567A

公开(公告)日：2021-02-15

申请号：JP2020528121

申请日：2018-11-23

申请人： エリコン・サーフェス・ソリューションズ・アクチェンゲゼルシャフト,プフェフィコーン , OERLIKON SURFACE SOLUTIONS AG, PFAEFFIKON

发明人： ラーブ,ローベルト , コーラー,クリスティアン・マルティン , マイルホーファー,ポール・ハインツ , アルント,ミリヤム , ラム,ユルゲン

IPC分类号： C23C14/32 , C23C14/34 , B32B9/00 , F01D25/00 , F01D25/24 , F02C7/00 , F01D5/28 , C23C14/06

摘要： 本発明は、アルミニウム、クロム、酸素、および窒素を含む多層膜を真空コーティングチャンバ内で生成する方法に関する。多層膜は、交互に堆積されたタイプAの層とタイプBの層とを有する。多層膜を堆積する際に、アルミニウムおよびクロムを含む少なくとも1つのターゲットを、PVD法によってカソードとして動作させるとともに、この方法においてアルミニウムおよびクロムを供給するための材料源として使用する。アルミニウムおよびクロムと反応させるために、酸素ガス流および窒素ガス流を反応ガスとして真空チャンバ内に導入し、それによって、多層膜を形成するための酸素および窒素を供給する。窒素および酸素を反応ガスとして同時に用いることによって、A層をAl−Cr−O−Nの酸窒化物層として堆積する。窒素のみを反応ガスとして用いてAl−Cr−N層を形成するために、酸素ガス流を減少させるとともに窒素ガス流を増加させることによって、B層をAl−Cr−Nの窒化物層として堆積する。多層膜内の酸素含有量と窒素含有量との関係は、原子百分率の比の値が1.8以上4以下となるような関係である。