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公开(公告)号：JP2018170428A
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：JP2017067420
申请日：2017-03-30
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/683
摘要： 【課題】回転テーブルに対するウェハの出し入れを容易に行うことができる技術を提供する。 【解決手段】ウェハ支持装置は、ウェハが上に配置される回転テーブルと、前記回転テーブルを回転させる回転機構と、前記回転テーブルにヒンジを介して連結されている少なくとも3個のストッパを備えている。各前記ストッパは、前記ヒンジよりも上側に突出している突出部と、前記ヒンジよりも下側かつ外側に位置している重心を備えている。前記回転テーブルの上にウェハが配置された状態で、前記回転テーブルが回転していない場合は、各前記ストッパの前記突出部がウェハの外周面よりも外側に位置しており、前記回転テーブルが回転した場合は、各前記ストッパの前記重心が遠心力によって外側へ移動する一方で、各前記ストッパの前記突出部が内側へ移動してウェハの外周面に接触する。 【選択図】図4
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公开(公告)号：JP6260461B2
公开(公告)日：2018-01-17
申请号：JP2014117461
申请日：2014-06-06
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： B65G47/90 , H01L21/677
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公开(公告)号：JP2017170590A
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：JP2016062015
申请日：2016-03-25
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： H01L21/304 , B28D5/04 , B24B27/06
摘要： 【課題】ワイヤの走行に対する抵抗を抑制でき、ワイヤの張力を精度良く測定することのできる張力調整機構を備えたワイヤソー装置を提供する。 【解決手段】ワイヤソー装置に備えた張力調整機構4a(4b)は、ワイヤ5が巻回される測定用アイドラローラ26と、該測定用アイドラローラ26を回転自在に支持すると共に、支持軸部に揺動自在に支持される測定用レバー28と、該測定用レバー28に接触し、ワイヤ5の張力により測定用アイドラローラ26と共に揺動する測定用レバー28からの押圧力によりワイヤ5の張力を測定する張力測定手段29と、を備えている。これにより、ワイヤ5の走行に対する抵抗を抑制でき、ワイヤ5の張力を精度良く測定することができる。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2016132590A
公开(公告)日：2016-07-25
申请号：JP2015007548
申请日：2015-01-19
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： C30B15/00
摘要： 【課題】チャンバの熱歪が種結晶支持軸及び坩堝支持軸に伝搬することを防止し、単結晶の品質を向上させる単結晶製造装置の提供。 【解決手段】坩堝11とヒータ13が収納され、且つヒータ13の少なくとも一部が連結されるチャンバ14と、チャンバ14を垂直方向に支持しつつ、水平方向に変位可能に、チャンバ14と連結される歪緩衝支持部材17a〜17dと、坩堝支持軸59及び種結晶支持軸39が直接連結され、且つチャンバ14が前記歪緩衝支持部材17a〜17dを介して連結される基部材71とを備え、基部材71の剛性は、歪緩衝支持部材17a〜17dの剛性よりも大きく、チャンバ14は、貫通孔15a、15bを有し、坩堝支持軸59と種結晶支持軸39は、貫通孔15a、15bに挿通され、且つ坩堝支持軸59と貫通孔15bとの隙間、及び種結晶支持軸39と貫通孔15aとの隙間が密閉部材38,58で封止されている、単結晶製造装置100。 【選択図】図1
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种单晶制造装置，其通过防止室的热变形向晶种支撑轴和坩埚支撑轴传递来提高单晶的质量。解决方案：单晶制造装置100包括 容纳坩埚11和加热器13并与加热器13的至少一部分连接的室14; 变形缓冲支撑构件17a-17d，其水平地位移地连接到腔室14，同时垂直地支撑腔室14; 以及基部构件71，坩埚支撑轴59和晶种支撑轴39直接连接到其上，并且室14通过变形缓冲支撑构件17a-17d连接到基座构件71。 基部构件71的刚性大于变形缓冲支撑构件17a-17d的刚性。 腔室14包括通孔15a，15b。 坩埚支撑轴59和晶种支撑轴39穿过通孔15a，15b以及坩埚支撑轴59和通孔15b之间的间隙以及晶种支撑轴39和通孔之间的间隙 15由密封构件38,58密封。选择的图：图1
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公开(公告)号：JP2015231008A
公开(公告)日：2015-12-21
申请号：JP2014117462
申请日：2014-06-06
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/304 , H01L21/02 , H01L21/306 , H01L21/027
摘要： 【課題】発熱機器の排熱による影響を低減する。 【解決手段】半導体製造装置1は、第1の空間11と、第1の空間と隔てられた第2の空間12と、を有する筐体を備える半導体製造装置である。第1の空間11には、ワークを装置内に搬入する搬入手段25と、ワークの加工を行う加工手段23と、搬入手段25により搬入されたワークを加工手段23に移送する移送手段24と、第1の空間11内のエアを循環させる循環手段26と、が配置されている。第2の空間12には、加工手段23に薬液を供給する薬液部28と、搬入手段25と移送手段24と加工手段23の動作の少なくとも1つを制御して発熱する発熱部29と、が配置され、筐体は、第2の空間12と筐体の外部とを連通する排気口30が設けられ、薬液部28は、発熱部29に対して第2の空間12内に発生するエアフローの上流側に配置され、排気口30は、発熱部29の下流側に配置されている。 【選択図】図4
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种能够降低加热设备的余热影响的半导体制造装置。解决方案：半导体制造装置1具有壳体，其具有与第一空间隔离的第一空间11和第二空间12。 在第一空间11中设置有用于将工件进给到装置中的进给装置25，用于处理工件的处理装置23，用于将由进给装置25输送的工件运送到处理装置23的传送装置24，以及用于 在第一空间11中循环空气。在第二空间12中布置有用于向处理装置23供应化学液体的化学液体部分28和用于控制进给装置25中的至少一个的加热部分29， 运送装置24和处理装置23产生热量。 壳体设置有排气口30，第二空间12和壳体的外部通过该排气口彼此连通。 化学液体部28配置在相对于加热部29在第二空间12中产生的气流的上游侧。排气口30配置在加热部29的下游侧。
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公开(公告)号：JP2015231007A
公开(公告)日：2015-12-21
申请号：JP2014117461
申请日：2014-06-06
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： B65G47/90 , H01L21/677
摘要： 【課題】ワークの品質の均一化を図ること。 【解決手段】搬送部10からワークWを搬入して、加工処理を行う半導体製造装置であって、ワークWの加工を行う加工手段11と、搬送部10により搬送されたワークWを保持する回転自在な第1の移送手段12と、第1の移送手段12により移送されたワークWを保持し、加工手段11にワークWを移送する回転自在な第2の移送手段13と、第1の移送手段12に設けられた第1の保持部33の回転軌跡と、第2の移送手段13に設けられた第2の保持部の移動軌跡と、が交差する位置に配置され、第1の保持部33と第2の保持部44の間のワークWの受け渡しを行う複数の受渡し手段14と、を備え、第1の移送手段12は、受渡し手段14において第2の保持部44がワークWを予定された向きで保持するように、第1の保持部33で保持されたワークWの回転量を調整する回転角調整手段を有する。 【選択図】図2
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种能够使工件质量均匀化的半导体制造装置。解决方案：从进给单元10向工件W进行加工的工件W的半导体制造装置具有处理装置11 工件W，用于保持由进给单元10供给的工件W的可自由旋转的第一输送装置12，用于保持由第一输送装置12输送的工件W并将工件W输送到处理装置11的可自由旋转的第二输送装置13， 以及设置在设置于第一输送机构12的第一保持件33的旋转轨道与设置于第二输送机构13的第二支架的移动轨道之间的交叉位置上的多个输送装置14，以将工件W输送到第一支架 33和第二保持器44.第一输送装置12具有旋转角度调节装置，用于调节旋转量 工件W被第一保持器33保持，使得第二保持器44在输送装置14中的预定取向状态下保持工件W。
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