公开(公告)号：JPWO2011108368A1

公开(公告)日：2013-06-24

申请号：JP2012503059

申请日：2011-02-18

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 早田　康成 ,  康成 早田 ,  健良 大橋 ,  健良 大橋 ,  香織 白幡 ,  香織 白幡 ,  敬一郎 人見 ,  敬一郎 人見

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J37/145 ,  H01J2237/1506 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/2611

Abstract: 電磁レンズと干渉することなく広視野偏向や所望の角度を有する傾斜ビーム形成を可能とする電子光学構成を備えた収差が少なく高解像の走査電子顕微鏡及びそれを用いた計測方法を提供するために、走査電子顕微鏡において、電磁レンズ207の上部に電磁偏向器201を設け、それと重なるように(鉛直方向に対して高さ位置が重なるように)電子を加速若しくは減速する制御電極202を設ける。広視野偏向では電子を加速し、傾斜ビーム形成では電子を減速する。

公开(公告)号：JP5153348B2

公开(公告)日：2013-02-27

申请号：JP2008002489

申请日：2008-01-09

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 博之 伊藤 ,  裕子 笹氣 ,  良一 石井 ,  隆 土肥

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/145 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J37/145 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1534

公开(公告)号：JPWO2011016182A1

公开(公告)日：2013-01-10

申请号：JP2011525746

申请日：2010-07-13

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 範次 高橋 ,  範次 高橋 ,  福田　宗行 ,  宗行 福田 ,  矢野　学 ,  学 矢野 ,  洋彦 木附 ,  洋彦 木附 ,  一成 浅尾 ,  一成 浅尾 ,  智康 猩々 ,  智康 猩々

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/145 ,  H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01J37/21

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/10 ,  H01J37/145 ,  H01J37/21 ,  H01J2237/2817

Abstract: 本発明の荷電粒子線装置は、アライナコイル(29)の制御値が、電磁界重畳レンズである対物レンズ(30、31)の制御値でのコイル電流と電極印加電圧と、イメージシフトコイル(27、28)の制御値と、荷電粒子線の加速電圧とにより決定されることを特徴とする。これにより、帯電領域と非帯電領域の境界などで表示画像に発生する像障害を回避し、明るさむらのない鮮明な画像を取得する荷電粒子線装置を提供することが可能になった。

公开(公告)号：JP2010512628A

公开(公告)日：2010-04-22

申请号：JP2009540623

申请日：2007-11-23

Applicant: カール・ツァイス・エヌティーエス・ゲーエムベーハーCarl Zeiss NTS GmbH

Inventor： プライクスツァーズ ディルク

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/09 ,  H01J37/145 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/09 ,  H01J37/145 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 電子顕微鏡システム３及びイオンビーム加工システム７を備える粒子光学装置であって、電子顕微鏡システムの対物レンズを備え、この対物レンズは、被検査対象物の位置１１に最も近い位置に配置されている、電子顕微鏡システムの構成要素としての環状電極を有する。 この環状電極と、イオンビーム加工システム７の主軸９との間には、シールド電極８１が配置されている。

公开(公告)号：JP2009105048A

公开(公告)日：2009-05-14

申请号：JP2008269925

申请日：2008-10-20

Applicant: Ceos Corrected Electron Optical Systems Gmbh ,  ツェーエーオーエス コレクテッド エレクトロン オプチカル システムズ ゲーエムベーハーCEOS Corrected Electron Optical Systems GmbH

Inventor： ZACH JOACHIM

IPC: H01J37/153

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J37/145 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2802

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a correction device in which a chromatic aberration and an aperture aberration in a scanning electron microscope or a scanning transmission type electron microscope are removed.
SOLUTION: The correction device is provided with four multipole elements arranged continuously in an optical path (9), and a first multipole element (1) and a fourth multipole element (4) are used in order to make 4-pole fields (5, 6), and a second multipole element (2) and a third multipole element (3) are used in order to make 8-pole magnetic fields (7, 8) and a 4-pole field, and the 4-pole fields of the above four multipole elements rotate continuously each in 90°, and the second (2) and the third multipole elements (3) are designed as a 12-pole element by using 12-pole fields (25, 26), and the additional 12-pole element (13) is inserted between the second (2) and the third multipole elements (3), and moreover, an 8-pole filed (14) is overlapped by a 12-pole field (15) in the additional 12-pole element (13).
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种其中除去扫描电子显微镜或扫描透射型电子显微镜中的色像差和孔径像差的校正装置。 解决方案：校正装置设置有在光路（9）中连续布置的四个多极元件，并且使用第一多极元件（1）和第四多极元件（4）来形成4极场 （5,6），并且使用第二多极元件（2）和第三多极元件（3），以便制造8极磁场（7,8）和4极场，并且4极 上述四个多极元件的场均以90°连续旋转，并且通过使用12极场（25,26）将第二（2）和第三多极元件（3）设计为12极元件，并且 附加的12极元件（13）插入在第二（2）和第三多极元件（3）之间，此外，8极场（14）由附加的12极场（15）重叠 12极元件（13）。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2009507351A

公开(公告)日：2009-02-19

申请号：JP2008529537

申请日：2006-09-06

Applicant: アプライド マテリアルズ イスラエル, エルティーディー. ,  カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー

Inventor： カサレス、アントニオ ,  カルト、サミュエル ,  グレシュナー、ヨハン ,  ケメン、トーマス ,  ニッペルマイヤー、ライナー ,  バイヤー、トーマス ,  フリッツ、ゲオルグ

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/045 ,  H01J37/09 ,  H01J37/145 ,  H01J37/147 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/04922 ,  H01J2237/04924 ,  H01J2237/04926 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2561 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/31774

Abstract: 本発明は、第１の多孔プレートと、第１の多孔プレートとの間に間隙を形成する第２の多孔プレートとを含む粒子光学部品であって、第１の多孔プレートの複数の開孔が、第１の多孔プレートの複数の開孔の各開孔が第２の多孔プレートの複数の開孔の対応する開孔と整列されるように配置され、前記間隙が第１の位置において第１の幅を有し、第２の位置において第２の幅を有し、第２の幅が第１の幅よりも少なくとも５％だけ大きい粒子光学部品に関する。 また、本発明は、このような部品を含む荷電粒子システム及び荷電粒子装置、並びに、曲面を有する多孔プレートの製造方法に関する。
【選択図】 図６

公开(公告)号：JP6340165B2

公开(公告)日：2018-06-06

申请号：JP2013092484

申请日：2013-04-25

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 今井 悠太 ,  大嶋 卓 ,  森下 英郎

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/28 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J37/073 ,  H01J27/02 ,  H01J27/26 ,  H01J29/481 ,  H01J37/06 ,  H01J37/063 ,  H01J37/08 ,  H01J37/145 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/062 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/06375 ,  H01J2237/0802 ,  H01J2237/1508 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2801

公开(公告)号：JPWO2015166849A1

公开(公告)日：2017-04-20

申请号：JP2016516331

申请日：2015-04-22

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 恒典 野間口 ,  恒典 野間口 ,  寿英 揚村 ,  寿英 揚村

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/065 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/14 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/14

Abstract: 電子線装置において、外乱による影響を受けにくくし、かつ、高空間分解能と高輝度を両立する。電子線装置において、例えば、電子線を発生する電子源(101)と、電子線を試料(114)上に集束する対物レンズとの間に、高電圧のビーム管(110)を電子源(101)側に、低電圧のビーム管(112)を対物レンズ側に配置することに関する。これにより、例え試料に積極的に磁場を漏らすタイプの対物レンズを備えたSEMであっても、空間分解能を維持しつつ、高輝度化を図ることができる。

公开(公告)号：JP6080540B2

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：JP2012282715

申请日：2012-12-26

Applicant: 株式会社ニューフレアテクノロジー

Inventor： 東矢 高尚 ,  小笠原 宗博

IPC: G03F7/20 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01J37/3177 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/3026 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/1508

公开(公告)号：JP5826529B2

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：JP2011135054

申请日：2011-06-17

Applicant: サンユー電子株式会社

Inventor： 安江 常夫 ,  越川 孝範 ,  津野 勝重

IPC: H01J37/29 ,  H01J37/153 ,  H01J37/16 ,  H01J37/05

CPC classification number: H01J1/50 ,  H01J3/22 ,  H01J37/145 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/041 ,  H01J2237/1505