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公开(公告)号：JP2015216162A
公开(公告)日：2015-12-03
申请号：JP2014096757
申请日：2014-05-08
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/6719 , H01L21/67353 , H01L21/67373 , H01L21/67376
摘要： 【課題】発塵要素がクリーン室内へ入り込むのを抑制すること。 【解決手段】ウエハキャリア1は、半導体ウエハ100が載置される下部ユニット2と、下部ユニット2に着脱可能に取り付けられ、下部ユニット2との間に半導体ウエハ100を収容する密閉室4を形成する上部ユニット3と、を備えている。上部ユニット3には、下部ユニット2の側面に当接することで、下部ユニット2を上部ユニット3に固定する複数のロック機構5が設けられている。 【選択図】図1
摘要翻译： 要解决的问题：抑制粉尘发射元件进入洁净室。解决方案：晶片载体1包括其上安装有半导体晶片100的下单元2和可拆卸地附接到下单元2的上单元3 并且形成用于将半导体晶片100容纳在下部单元2之间的封闭室4.上部单元3设置有多个锁定机构5，用于将下部单元2固定到上部单元3，通过抵靠侧面 的下部单元2。
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公开(公告)号：JP6947136B2
公开(公告)日：2021-10-13
申请号：JP2018147809
申请日：2018-08-06
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： H01M10/0585 , H01M4/04
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公开(公告)号：JP2020077491A
公开(公告)日：2020-05-21
申请号：JP2018209022
申请日：2018-11-06
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： H01M10/0585 , H01M10/04
摘要： 【課題】シート状電極が大気の露呈されるのを阻止する。 【解決手段】複数回の処理工程を経てシート状電極(1)の積層体である電池が製造され、これら各処理工程を実施する処理工程実施装置間において、シート状電極(1)を保持するマガジン(10)を用いてシート状電極(1)が搬送される。処理工程実施装置を大気から遮断するために処理工程実施装置が密閉壁(50)により包囲されており、密閉壁(50)内に、大気圧よりも高圧の乾燥空気が供給されている。密閉壁(50)内のマガジン(10)を、マガジン搬送用密閉容器(20)内に移動すると共にマガジン搬送用密閉容器(20)内を、密閉壁(50)内の大気圧よりも高圧の乾燥空気で満たし、マガジン搬送用密閉容器(20)が、大気圧よりも高圧の乾燥空気により満たされた状態で、処理工程実施装置間を搬送される。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2020077487A
公开(公告)日：2020-05-21
申请号：JP2018208928
申请日：2018-11-06
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： H01M4/04
摘要： 【課題】シート状電極が無駄に廃棄されるのを阻止する。 【解決手段】シート状電極(1)を積層部署まで搬送するためのシート状電極搬送装置(A)を密閉壁(50)で覆うと共に密閉壁(50)の内部をシート状電極(1)の搬送経路に沿って隔壁(57,58,59,60)により内部空間領域(Z1、Z2、Z3、Z4,Z5)に分割する。各内部空間領域(Z1、Z2、Z3、Z4,Z5)に乾燥空気が供給される。いずれかの内部空間領域(Z1、Z2、Z3、Z4,Z5)内に異常なシート状電極(1)が存在するときには、異常なシート状電極(1)を載置している搬送プレート(20)以外の搬送プレート(20)が、異常なシート状電極(1)が存在している内部空間領域以外の内部空間領域に退避される。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2019181878A
公开(公告)日：2019-10-24
申请号：JP2018078577
申请日：2018-04-16
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
摘要： 【課題】円柱状のワークの切断面を均一にすることが可能なワイヤソー装置による切断方法を提供する。 【解決手段】実施形態に係るワイヤソー装置による切断方法は、複数の加工用ローラ15a、15b、15cに巻回されるワイヤ20によって円柱状のワークWを切断する切断方法であって、ワークWの切断長さが略一定となるように、ワイヤWのチルト角度を設定し、設定したチルト角度でワークWを切断する際のワークWの切断深さが略一定となるように、ワークWのワイヤ方向への送り量dを相対的に調整する。 【選択図】図2B
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公开(公告)号：JP6562216B2
公开(公告)日：2019-08-21
申请号：JP2016048909
申请日：2016-03-11
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： B28D5/04 , H01L21/304 , B24B27/06
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公开(公告)号：JP2018182122A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017081370
申请日：2017-04-17
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/44 , H01L21/205
摘要： 【課題】ウェハの上面に供給される原料ガスの量をウェハの上面全体にわたって均一に近づけることができる技術を提供する。 【解決手段】成膜装置2は、第2ハウジング20の横壁に形成されている貫通孔22と、貫通孔を通過して第2ハウジングの内外にわたって横方向に延びている第2ハウジング外のモーターの回転を第2ハウジング内の回転軸51に伝達する前記ベルト61と、第1ハウジング10内の回転テーブル50の上に配置されたウェハwの上面の中心部に向けて原料ガスを供給するノズル42と、第1ハウジングと第3ハウジング30に接続されており、第1ハウジング内の原料ガスを第3ハウジング内に送るガス流路21と、回転軸の延長線上において第3ハウジングに形成されているガス排出口31と、ガス排出口を介して第3ハウジング内の原料ガスを吸引するポンプ82と、を備えている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6340928B2
公开(公告)日：2018-06-13
申请号：JP2014121773
申请日：2014-06-12
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： H01L21/677
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公开(公告)号：JP2017177260A
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：JP2016065797
申请日：2016-03-29
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
摘要： 【課題】ボビン及び張力調整機構の故障リスクを低減させて、信頼性を向上させるワイヤソー装置を提供する。 【解決手段】本ワイヤソー装置は、仕切壁10を貫通するように設けられ、ワイヤ5が走行する走行通路33と、該走行通路33に一端が連通して、走行通路33に対して傾斜して非加工エリアA2側に向かって延びるエア流通路37と、該エア流通路37の他端に連通して、エア流通路37にエアを圧送するエア圧送源38とを備えている。これにより、ボビン及び張力調整機構が配置される非加工エリアA2側への切粉や砥粒を含む加工液の侵入を抑制することができ、ボビン及び張力調整機構の故障リスクを低減させることができ、ひいては、信頼性を向上させることができる。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2017161103A
公开(公告)日：2017-09-14
申请号：JP2016043409
申请日：2016-03-07
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
摘要： 【課題】クリーンルームを容易に構築することができ、また、容易に移設及び拡張できるようにする空気浄化システムを提供する。 【解決手段】床面Fに立設したフレーム3を気密性のシート材で覆って密閉した室2を形成する。床面Fに複数のステップ5を敷詰めて作業床面W及び床下空間Sを形成する。室2の広さに応じた数の空気循環ユニット6を設置して床面Fに固定する。空気循環ユニット6により、室2内の空気をステップ5の通気性の床板5Bを通して床下空間Sから吸入し、濾過した後、垂直ダクト8及び水平ダクト9を通して空気吹出口17から室2の天井付近に循環させる。送風ファン、フィルタ及び送風ダクトを一体化した空気循環ユニット6及びステップ5の数及び配置を室2の広さや形状に応じて適宜設定することにより、様々な室に適用することができ、クリーンルームの構築、拡張及び移設が容易になる。 【選択図】図2
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