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公开(公告)号:JP2020045524A
公开(公告)日:2020-03-26
申请号:JP2018174720
申请日:2018-09-19
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor: 大上 秀晴
Abstract: 【課題】 イオンビーム処理を長尺樹脂フィルムに施してもシワが発生しにくい製造装置及び製造方法を提供する。 【解決手段】 真空中においてロールツーロール方式で搬送される長尺の樹脂フィルムAの表面に金属膜を成膜するマグネトロンスパッタリングカソード46〜49等の真空成膜手段を備えた金属膜付樹脂フィルム基板の製造装置であって、該真空成膜手段よりも上流側に設けた冷却駆動ロール32と、該冷却駆動ロール32の外周面上の樹脂フィルムAの搬送経路において、幅方向中央部と該中央部よりも搬送方向下流側の幅方向両端部とを結ぶ2条の線状領域に向けてイオンビームを照射するイオンビーム照射手段34とを有している。 【選択図】 図2
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公开(公告)号:JP2020012023A
公开(公告)日:2020-01-23
申请号:JP2018133269
申请日:2018-07-13
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor: 大上 秀晴
Abstract: 【課題】水蒸気や紫外線照射等に起因した劣化現象を抑制できる表面被覆近赤外線遮蔽微粒子の製造方法と表面被覆近赤外線遮蔽微粒子を提供する。 【解決手段】平均粒径10〜500nmの近赤外線遮蔽微粒子(複合タングステン酸化物微粒子またはホウ化物微粒子)30と、Al 2 O 3、 SiO 2、 SiOAl、SiC、SiOC、SiCNから選択されかつ上記微粒子表面を被覆する1種以上の原子層から成る被覆層31とで構成される表面被覆近赤外線遮蔽微粒子の製造方法であって、第1反応ガス吸着工程と排気工程および第2反応ガス反応工程と排気工程から成る1サイクルで1原子層が形成される原子層堆積(ALD)法を用いた原子層堆積装置により該1原子層を4層以上成膜して被覆層31を形成することを特徴とする。上記被覆層31はピンホールのない原子層で構成されているため水蒸気や紫外線照射等に起因した劣化現象が抑制される。 【選択図】図2
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公开(公告)号:JP2019039707A
公开(公告)日:2019-03-14
申请号:JP2017160135
申请日:2017-08-23
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor: 大上 秀晴
Abstract: 【課題】 ロールツーロールで搬送されながら熱負荷のかかる処理が施される長尺状の樹脂フィルムの温度変化を測定する温度測定センサフィルムを提供する。 【解決手段】 巻出ロール111から巻取ロール129までロールツーロール方式で搬送されながら熱負荷のかかる処理が施される長尺基板Fの長手方向の中間部分に介在する温度測定センサフィルム10であって、巻出ロール111又は巻取ロール129から例えばスパッタリングカソード133による該熱負荷のかかる処理が施される部位までの搬送距離よりも長い長尺状のベースフィルム11と、ベースフィルム11の長手方向に沿って端から端まで延在する例えば3対の薄膜状導電層からなる熱電対20〜40と、これら3対の熱電対20〜40を覆うカバーフィルム50とから構成される。 【選択図】 図2
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公开(公告)号:JP2019034253A
公开(公告)日:2019-03-07
申请号:JP2017155039
申请日:2017-08-10
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor: 大上 秀晴
Abstract: 【課題】 TD方向(幅方向)の端部に割れが生じにくい積層体フィルムの製造方法を提供する。 【解決手段】 好適には長手方向の引張強度が100MPa以下の超複屈折樹脂フィルムからなる長尺体の少なくとも一方の面にその幅方向の両端部を除いてその長手方向に延在する1条以上の帯状の被覆膜を形成する長尺体への印刷方法であって、前記長尺体の幅方向における端から端までのうち前置被覆膜が形成される位置に対応して設けられた凹状部を外周面に全周に亘って備えたグラビアロールを用いて前記被覆膜を形成する塗布液を前記長尺帯に印刷する。 【選択図】 図10
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公开(公告)号:JP6365432B2
公开(公告)日:2018-08-01
申请号:JP2015125688
申请日:2015-06-23
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor: 大上 秀晴
IPC: C23C14/56 , B23K26/342 , B24C1/06 , B23K26/382
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公开(公告)号:JP2018031040A
公开(公告)日:2018-03-01
申请号:JP2016162788
申请日:2016-08-23
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor: 大上 秀晴
Abstract: 【課題】 上流側と下流側で互いに隣接するキャンロールのうちの一方の張力制御が他方に影響を及ぼすのを防止することが可能な表面処理装置を提供する。 【解決手段】 真空チャンバー10内においてロールツーロールの搬送経路に沿って搬送される長尺基材としの長尺樹脂フィルムFの表面処理装置であって、長尺樹脂フィルムFを外周面に巻き付けて内部を循環する冷媒で冷却する2個のキャンロール17、23と、これら2個のキャンロール17、23の各々の外周面に対向する位置に設けられたスパッタリングカソード41〜48の等の表面処理手段とを有し、これら2個のキャンロール17、23のうち最も上流側に位置する第1キャンロール17と、その下流側の第2キャンロール23との間の搬送経路にテンションカット用の駆動ロール20が設けられている。 【選択図】 図1
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