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    慣性センサ
    61.
    发明专利
    慣性センサ 有权

    公开(公告)号：JPWO2012005062A1

    公开(公告)日：2013-09-02

    申请号：JP2012523794

    申请日：2011-05-25

    Applicant: 日立オートモティブシステムズ株式会社

    Inventor： 希元 鄭 ,  希元 鄭 ,  宗里 出川 ,  宗里 出川 ,  雅秀 林 ,  雅秀 林

    IPC: G01C19/5747 ,  G01C19/5769

    CPC classification number: G01P9/04 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5747

    Abstract: 振動外乱があるような環境においても、SNRを維持できる高性能慣性センサを提供するために、二つの錘2、3と、それらを逆相に変位させる手段(C1、C2、C3、C4、+Vd、-Vd)と、それらの変位を容量変化として検出する2組の電極(C5、C6、C7、C8)と、この電極の容量変化を電気信号に変換するCV変喚部53とを備えた振動型の慣性センサにおいて、二つの錘2、3が逆相に変位した場合に互いに静電容量が増加する1組の電極同士(例えば、C5とC8)を電気的に接続し、同場合に互いに静電容量が減少する1組の電極同士(例えば、C6とC7)を電気的に接続し、それぞれをCV変換部53に接続する。

    Micromachine sensor (mems)
    62.
    发明专利
    Micromachine sensor (mems) 有权

    公开(公告)号：JP2012519267A

    公开(公告)日：2012-08-23

    申请号：JP2011551448

    申请日：2010-02-03

    Applicant: センサーダイナミックス ゲーエムベーハー

    Inventor： フォルカー ケンプ，

    IPC: G01C19/5733 ,  B81B3/00 ,  G01C19/56

    CPC classification number: G01C19/574

    Abstract: 【課題】高精度な測定をすることのできるシンプルで安価なＭＥＭＳジャイロスコープを提供する。
    【解決手段】ｘ−ｙ平面に沿って直線的に動く駆動要素（２，３，４）を有し、基板上に配置され、前記基板のヨーレートベクトルの少なくとも２つ、好ましくは３つの成分を測定するマイクロマシンセンサ（ＭＥＭＳ）（１）であって、本質的に相互に垂直な方向に駆動される前記駆動要素の２つのグループが存在し（２，３；４）、相互に垂直な方向に動く前記駆動要素（２，４；３，４）は、動きを同期させるために回転可能に前記基板上に配置された複数の結合デバイス（６，７）により相互に接続されていることを特徴とするマイクロマシンセンサ。
    【選択図】 図１

    Complex sensor and acceleration sensor
    66.
    发明专利
    Complex sensor and acceleration sensor 有权

    公开(公告)号：JP4687791B2

    公开(公告)日：2011-05-25

    申请号：JP2008528268

    申请日：2007-09-19

    Applicant: 株式会社村田製作所

    Inventor： 義宏 小中

    IPC: G01C19/56 ,  G01C19/5726 ,  G01C19/5747 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18

    CPC classification number: G01P15/14 ,  G01C19/574 ,  G01P15/125

    Abstract: A first vibrator 4 is provided on a surface of a substrate 2 such that the vibrator 4 can vibrate in an X-axis direction. An angular-velocity-detecting vibrator 6 is provided inside the first vibrator 4 such that the vibrator 6 can be displaced in a Y-axis direction. A vibration generating unit 8 and a vibration monitor unit 20 are provided between the substrate 2 and the first vibrator 4. An angular-velocity-detecting displacement detecting unit 11 is provided between the substrate 2 and the angular-velocity-detecting vibrator 6. A second vibrator 15 is provided outside the first vibrator 4 such that the vibrator 15 can be displaced in the Y-axis direction. An acceleration-detecting displacement detecting unit 17 is provided between the first and second vibrators 4 and 15. An angular velocity detecting circuit 27 detects angular velocity by performing synchronous detection on a displacement detection signal Vc from the displacement detecting unit 11 by using a monitor signal Vm from the vibration monitor unit 20. On the other hand, an acceleration detecting circuit 31 detects acceleration by performing synchronous detection on a displacement detection signal Va from the displacement detecting unit 17 by using a monitor signal Vm from the vibration monitor unit 20.

    Coriolis gyro
    67.
    发明专利
    Coriolis gyro 有权

    公开(公告)号：JP2010531446A

    公开(公告)日：2010-09-24

    申请号：JP2010513679

    申请日：2008-03-28

    Applicant: ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハー

    Inventor： ガイガー，ヴォルフラム

    IPC: G01C19/56

    CPC classification number: G01C19/574

    Abstract: 本発明は、基材（５、２２、２４、２６）と、少なくとも２つの個体構造体（６１、６２、６３、６４、５００、６００、７００、８００）と、ばね要素（例えば１、２、３、２１、２３、２５）とから構成され、上記ばね要素（例えば１、２、３、２１、２３、２５）によって、上記個体構造体（６１、６２、６３、６４、５００、６００、７００、８００）は上記基材（５、２２、２４、２６）に連結すると共に互いにも連結しており、さらに、力伝播体（例えば５１４、６１４、７１４、８１４）とタップ（例えば５３４、６３４、７３４、８３４）とを備え、上記構成は、上記力伝播体（例えば５１４、６１４、７１４、８１４）によって励起できる少なくとも１つの励起モード（７）と、上記タップ（例えば５３４、６３４、７３４、８３４）によって測定できる少なくとも１つの検知モード（８）とを含むコリオリジャイロであって、上記励起モード（７）及び上記検知モード（８）は閉鎖型であり、これによって、製作公差を考慮する必要がない場合、加速度及び／または振動によって上記励起モード及び上記検知モードにおける外乱励起が引き起こされることがないコリオリジャイロに関する。

    Gyro meter in surface technology using antiplane detection with strain gauge
    68.
    发明专利
    Gyro meter in surface technology using antiplane detection with strain gauge 有权
    表面技术中的GYRO测量仪使用应变计测量反射

    公开(公告)号：JP2010169684A

    公开(公告)日：2010-08-05

    申请号：JP2010012080

    申请日：2010-01-22

    Applicant: Commissariat A L'energie Atomique & Aux Energies Alternatives ,  コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ

    Inventor： ROBERT PHILIPPE

    IPC: B81B3/00 ,  G01C19/56

    CPC classification number: G01C19/574

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a new gyro meter type system which can achieve detection around the shaft located on its own plane. SOLUTION: The gyro meter type system is characterized by being contained in substrate and by including at least one set (3, 3', 31, 32 and 33) demarcating an unused plane which is arranged in the position away from the second rotary shaft contained in this plane (Z, H, H') at a predetermined distance to cause vibration in this plane perpendicular to the above rotary shaft (Z), at least two connection arms for connecting the above set with the above rotary shaft, a means to form at least one connection with the above substrate for rotation around the above rotary shaft to at least one of the above arms, and at least one strain gauge for detecting the above rotation movement. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

    Abstract translation: 要解决的问题：提供可以实现位于其自身平面上的轴的检测的新的陀螺仪表型系统。 解决方案：陀螺仪表型系统的特征在于包含在基板中，并且包括至少一个（3,3'，31,32和33）的一组（3,3'，31,32和33），该未设置的平面布置在远离第二 在该平面（Z，H，H'）中包含的预定距离的旋转轴在垂直于上述旋转轴（Z）的平面中引起振动，至少两个用于将上述组与上述旋转轴连接的连接臂， 与上述基板形成至少一个连接的装置，用于围绕上述旋转轴旋转到上述臂中的至少一个臂，以及用于检测上述旋转运动的至少一个应变计。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

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