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发明专利
ＨＩＰＩＭＳ電源を備えるコーティング装置有权
标题翻译：涂布装置，其包括功率HIPIMS

公开(公告)号：JP5647337B2

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：JP2013509452

申请日：2011-01-27

申请人： アイエッチアイハウザーテクノコーティングベー.フェー.IHIHauzer Techno Coating B.V. , アイエッチアイハウザーテクノコーティングベー.フェー.IHI Hauzer Techno Coating B.V.

发明人： パパ、フランク , ティーテマ、ロール , カーランド、アントニー

IPC分类号： C23C14/34

CPC分类号： C23C16/0245 , C23C14/022 , C23C14/352 , H01J37/3405 , H01J37/3438 , H01J37/3444 , H01J37/3467 , H01J2237/332 , H01J2237/334