-
公开(公告)号:JP2017525163A
公开(公告)日:2017-08-31
申请号:JP2017527968
申请日:2015-08-14
Inventor: ランゲロフ ヴェンツェスラフ , ランゲロフ ヴェンツェスラフ , コヴァルスキー ジークフリート , コヴァルスキー ジークフリート , ポート ヴァルター , ポート ヴァルター , コッホ ローラント , コッホ ローラント
IPC: H01L21/52
CPC classification number: H01L24/75 , B23K1/0016 , B23K3/00 , B23K3/04 , B23K3/087 , B23K20/023 , B23K2201/40 , H01L24/32 , H01L24/83 , H01L24/95 , H01L24/97 , H01L2224/32245 , H01L2224/75102 , H01L2224/75251 , H01L2224/75252 , H01L2224/75283 , H01L2224/75314 , H01L2224/75315 , H01L2224/7555 , H01L2224/7598 , H01L2224/83065 , H01L2224/83203 , H01L2224/83209 , H01L2224/8323 , H01L2224/83447 , H01L2224/83825 , H01L2224/8384 , H01L2224/95 , H01L2224/95093 , H01L2224/97 , H01L2924/00014 , H01L2924/00012 , H01L2224/83
Abstract: 【解決手段】本発明は、プロセスチャンバ(B)においてマイクロ電気機械部品(2,3)を特に熱接合するための装置に関し、部品(2,3)のうちの少なくとも1つの第1部品(2)を保持するための下部支持板(11)と、接合される部品(2,3)のうちの少なくとも1つの第2部品(3)へ少なくとも1つの第1部品(2)の方向に加圧するための加圧装置(15)とを備える。加圧装置(15)は、少なくとも1つの第2部品(3)と接触するように設けられる膨張膜(19)を備える。流体圧力、特に気体圧力は、膨張膜(19)へ接合される部品(2,3)から離間する側で付与され得る。【選択図】図1