公开(公告)号：JP2017525163A

公开(公告)日：2017-08-31

申请号：JP2017527968

申请日：2015-08-14

Applicant: アーテーファウ テヒノロギー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフトゥング ,  アーテーファウ テヒノロギー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフトゥング

Inventor： ランゲロフ ヴェンツェスラフ ,  ランゲロフ ヴェンツェスラフ ,  コヴァルスキー ジークフリート ,  コヴァルスキー ジークフリート ,  ポート ヴァルター ,  ポート ヴァルター ,  コッホ ローラント ,  コッホ ローラント

IPC: H01L21/52

CPC classification number: H01L24/75 ,  B23K1/0016 ,  B23K3/00 ,  B23K3/04 ,  B23K3/087 ,  B23K20/023 ,  B23K2201/40 ,  H01L24/32 ,  H01L24/83 ,  H01L24/95 ,  H01L24/97 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/75102 ,  H01L2224/75251 ,  H01L2224/75252 ,  H01L2224/75283 ,  H01L2224/75314 ,  H01L2224/75315 ,  H01L2224/7555 ,  H01L2224/7598 ,  H01L2224/83065 ,  H01L2224/83203 ,  H01L2224/83209 ,  H01L2224/8323 ,  H01L2224/83447 ,  H01L2224/83825 ,  H01L2224/8384 ,  H01L2224/95 ,  H01L2224/95093 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/83

Abstract: 【解決手段】本発明は、プロセスチャンバ(B)においてマイクロ電気機械部品(2,3)を特に熱接合するための装置に関し、部品(2,3)のうちの少なくとも1つの第1部品(2)を保持するための下部支持板(11)と、接合される部品(2,3)のうちの少なくとも1つの第2部品(3)へ少なくとも1つの第1部品(2)の方向に加圧するための加圧装置(15)とを備える。加圧装置(15)は、少なくとも1つの第2部品(3)と接触するように設けられる膨張膜(19)を備える。流体圧力、特に気体圧力は、膨張膜(19)へ接合される部品(2,3)から離間する側で付与され得る。【選択図】図1