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公开(公告)号：JP4848004B2
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：JP2008508175
申请日：2006-03-02
发明人： バーナード・ロス
CPC分类号： H04L5/1423
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公开(公告)号：JP2011513714A
公开(公告)日：2011-04-28
申请号：JP2010547842
申请日：2009-02-23
发明人： デイビッド エスケルドソン , ラ プエンテ エドモンド デ
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/31926
摘要： 本発明の一実施形態によれば、動作中に入力試験信号を受信する第１の端子と、前記第１の端子に結合された複数の入力／出力端子とを備えるシステムが提供される。 前記入力／出力端子は、並列出力動作中にそれぞれの出力試験信号を並列出力するように構成され、前記入力／出力端子は、並列入力動作中に試験対象デバイスから試験応答信号を並列入力するように構成され、さらに前記入力／出力端子の各々は、動作中に残りの複数の入力／出力端子から電気的に分離される。
【選択図】図８-
公开(公告)号：JP2011511279A
公开(公告)日：2011-04-07
申请号：JP2010544584
申请日：2008-09-18
发明人： ヨーヘン リフォイル , マルクス ロッタッカー
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/26 , G01R31/2637 , G01R31/31907 , G01R31/31908 , G11C29/56 , Y10T29/53183 , Y10T29/53191
摘要： 複数のテストサイト（１０２〜１０８）でテストリソース（１１２）を共有する方法であって、該方法は、複数のテストサイト（１０２〜１０８）で時間をオフセットしつつ各テストフローを実行し、前記各テストフロー（１１６〜１２２）はテストフロー（１１６〜１２２）内の所定の位置（１１６ｂ〜１２２ｂ）でテストリソース１１２にアクセスする。
【選択図】図４-
4.发明专利
公开(公告)号：JP4624944B2
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：JP2006067886
申请日：2006-03-13
发明人： ロルフ・ハルユンク
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/31924 , G01R31/3004 , G01R31/31813
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公开(公告)号：JP2010537448A
公开(公告)日：2010-12-02
申请号：JP2010523040
申请日：2008-08-20
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R31/2893 , G01R31/2831
摘要： 本発明の実施形態によって、ウェハをウェハキャリアに配置している間にウェハをテストする方法及び装置が提供される。 テスト結果を利用して製造プロセスの調整を行うことで、処理の歩留まりを向上させることができる。
【選択図】図３-
公开(公告)号：JP4543020B2
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：JP2006204098
申请日：2006-07-27
发明人： ホルガー・エンゲルハルト , ヨッヘン・リヴォア
CPC分类号： H03M1/74
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公开(公告)号：JP4414703B2
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：JP2003322477
申请日：2003-09-16
发明人： アジャイ・コーチェ
IPC分类号： G01R31/28 , G01R31/317 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/31707
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公开(公告)号：JP2009545727A
公开(公告)日：2009-12-24
申请号：JP2009522107
申请日：2006-08-04
发明人： アンドレー ヴェイ , ロルフ ノイヴァイラー
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/31907
摘要： 【課題】被試験装置をテストする試験装置のためのテストモジュールを提供すること。
【解決手段】被試験装置（２０１）をテストする試験装置（２００）のためのテストモジュール（２０６）であって、かかるテストモジュール（２０６）は特定のテストファンクションを実行するように構成され、テストモジュール（２０６）のテストファンクションに限定されないテストリソースを提供するように構成された汎用セクション（２１３）を備え、かかる汎用セクション（２１３）は試験装置（２００）の集中制御装置（２０２）に接続されるように構成された制御インタフェース（２０４）を備え、テストモジュール（２０６）はさらに汎用セクション（２１３）に結合され、テストモジュール（２０６）のテストファンクションに限定されたテストリソースを提供するように構成された専用セクション（２１４）を備え、専用セクション（２１４）は被試験装置（２０１）に接続されるように構成された被試験装置インタフェース（２０５）を備える。
【選択図】図２-
10.发明专利
公开(公告)号：JP2009544931A
公开(公告)日：2009-12-17
申请号：JP2009519802
申请日：2006-07-21
发明人： ヨーヘン リフォイル , ジンレイ リュー
IPC分类号： G01R31/316 , G06T1/00
CPC分类号： H03M1/1285 , G01R19/2509 , G01R31/31725 , H03M1/124
摘要： 反復信号（１０２）を処理する信号処理装置（１００）であって、反復信号（１０２）をアンダーサンプリングする複数の時点を判定する判定部（１０３）と、これらの複数の時点で反復信号（１０２）を基準信号（１０６）と比較する比較器（１０５）と、比較の結果を示すデジタル結果信号（１１０）を生成する生成部（１０５）と、デジタル結果信号（１１０）の遷移時間を判定する評価部（１１２）を備える信号処理装置（１００）。
【選択図】図１
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