KR102229414B1 - Nitriding furnace apparatus

    公开(公告)号:KR102229414B1

    公开(公告)日:2021-03-22

    申请号:KR1020200120365A

    申请日:2020-09-18

    发明人: 최만호 남용호

    IPC分类号: C23C8/24 C23C8/26 F27B17/00

    CPC分类号: C23C8/24 C23C8/26 F27B17/0016

    摘要: 본 발명은 질화로 장치에 관한 것으로, 반응가스를 공급받아 질화처리를 수행하는 열처리부와, 열처리부로부터 반응가스를 전달받고, 반응가스를 가열하여 분해가스로 분해시키는 분해부와, 분해부에 연결되고, 반응가스의 분해 상태를 측정하는 측정부 및 분해부로부터 분해가스를 전달받고, 분해가스를 연소시켜 배출시키는 연소부를 포함하는 것을 특징으로 한다.