公开(公告)号：JP6275755B2

公开(公告)日：2018-02-07

申请号：JP2016005561

申请日：2016-01-14

申请人： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド ,  APPLIED MATERIALS,INCORPORATED

发明人： ヒンタ—シュスター, ライナー ,  リッペルト, ローター

IPC分类号： C23C14/34

CPC分类号： H01L21/67098 ,  C23C14/3407 ,  H01J37/34 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67109

公开(公告)号：JP2016148106A

公开(公告)日：2016-08-18

申请号：JP2016005561

申请日：2016-01-14

申请人： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド ,  APPLIED MATERIALS,INCORPORATED

发明人： ヒンタ—シュスター, ライナー ,  リッペルト, ローター

IPC分类号： C23C14/34

CPC分类号： H01L21/67098 ,  C23C14/3407 ,  H01J37/34 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67109

摘要： 【課題】物理的気相堆積プロセスのターゲットすなわちカソードを、物理的気相堆積用チャンバから、あるいは物理的気相堆積区域から迅速に取り出し、時間およびコストを大幅に節減する方法の提供。 【解決手段】物理的気相堆積用のチャンバ200は、ハウジング210と、チャンバ200を開閉するためのドア220と、ターゲット230を受けるための軸受240であって、第1の方向260に配向された軸受240とを備え、チャンバ200は、ターゲット230が第1の方向260においてチャンバ200から少なくとも部分的に取出し可能となるように構成するチャンバ200。 【選択図】図3a

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种通过从物理气体沉积的室或物理气体沉积的区域中获取物理气体沉积工艺，阴极的目标而大大减少时间和成本的方法。解决方案：物理室 气体沉积200包括壳体210，用于打开和关闭室200的门220和用于支撑靶230的轴承240，轴承240布置在第一方向260上。腔室200构造成使得靶230 能够至少部分地沿着第一方向260从腔室200取出。选择的图示：图3a