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公开(公告)号：JP2021507104A
公开(公告)日：2021-02-22
申请号：JP2020532935
申请日：2018-12-13
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： エルドリッジ, デーヴィッド ジェームズ , トーマス, ジェイコブ , クリアリー, ジョン エム. , バトル, スコット エル. , グレッグ, ジョン , チャタートン, トーマス , ヘンドリックス, ブライアン シー. , バウム, トーマス エイチ.
IPC分类号： C23C16/448
摘要： 本発明は、改良された蒸発装置ベッセル本体と、そのベッセル本体内に配置される支持トレイアセンブリ構成とを有する蒸発装置またはアンプルアセンブリを対象とし、それらベッセル本体および支持トレイは協働して、蒸発性物質の使用率および一様性を向上させる。 【選択図】図2B
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公开(公告)号：JP2018510265A
公开(公告)日：2018-04-12
申请号：JP2017546780
申请日：2016-02-28
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
IPC分类号： C23C16/16 , H01L21/28 , H01L21/285
CPC分类号： C23C16/16 , C01G41/006 , C23C16/448
摘要： タングステン含有膜を形成するための固体ソース材料が記載されている。固体ソース材料は、タングステンヘキサカルボニルであり、モリブデンの含量は1000ppm未満である。そのような固体ソース材料は、径が5mm未満である粒子の粒子状タングステンヘキサカルボニル原料を用意することであって、1.4mmを上回る径の粒子が粒子の15%未満であり、モリブデンの含量が1000ppm未満である前記原料を用意することと、粒子状タングステンヘキサカルボニル原料を100℃未満の温度で焼結して、固体ソース材料を焼結固体として作製することとを含む方法によって、形成させることができる。【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6885871B2
公开(公告)日：2021-06-16
申请号：JP2017546780
申请日：2016-02-28
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
IPC分类号： H01L21/28 , H01L21/285 , C23C16/16
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公开(公告)号：JP2021505758A
公开(公告)日：2021-02-18
申请号：JP2020530317
申请日：2018-12-07
申请人： インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： エルドリッジ, デーヴィッド ジェームズ , ピーターズ, デーヴィッド , ライト, ロバート,ジュニア. , ヘンドリックス, ブライアン シー. , バトル, スコット エル. , グレッグ, ジョン
IPC分类号： H01L21/31 , C23C16/448
摘要： 化学物質送達システムは、バルク容器、運転/補充チャンバ、第一の導管および第二の導管を含む。 バルク容器は前駆体を保存する。運転/補充チャンバは、前駆体を蒸気の形態で受け取り、前駆体を固体の形態で保存するための複数の表面を有する、複数の離間したチューブを含む。第一の導管は,前駆体を蒸気の形態でバルク容器から運転/補充チャンバへ輸送するために、バルク容器を運転/補充チャンバに接続する。第二の導管は、運転/補充チャンバを堆積チャンバに接続し、前駆体を蒸気の形態で運転/補充チャンバから堆積チャンバへ輸送する。 【選択図】図1
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