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公开(公告)号：JP2009500629A
公开(公告)日：2009-01-08
申请号：JP2008520415
申请日：2006-07-10
Applicant: インテグリス・インコーポレーテッド
Inventor： ティ． チンノック、ロバート , ミーチャム、チャールズ , ミラー、クリフォード
CPC classification number: G01F1/363 , G05D7/0635 , H05K1/0218 , H05K1/0393 , H05K2201/0715 , H05K2201/09354 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/7895
Abstract: 流量制御装置は、化学的不活性流体路を備えた一体制御装置本体を含み、流体路内に載置される挿入可能な絞り即ちオリフィスを有し、オリフィスはより小さな断面積を有することにより、流体路内における流体の流量を抑制して、信頼性の高い流量測定を可能にする。 集積回路即ち制御装置は、制御弁に接続されると共に、ファラデー箱によって包囲される信号導体を含むリード構造体によって、圧力センサにも接続される。 また、一体化制御装置本体に接続される化学的不活性ハウジングは、制御弁及び圧力センサを包囲する。
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公开(公告)号：JP5256032B2
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：JP2008520415
申请日：2006-07-10
Applicant: インテグリス・インコーポレーテッド
Inventor： ティ． チンノック、ロバート , ミーチャム、チャールズ , ミラー、クリフォード
CPC classification number: G01F1/363 , G05D7/0635 , H05K1/0218 , H05K1/0393 , H05K2201/0715 , H05K2201/09354 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/7895
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