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1.

发明专利
電子ビームの3ビームアパーチャアレイ有权

公开(公告)号：JP6786581B2

公开(公告)日：2020-11-18

申请号：JP2018244840

申请日：2018-12-27

Applicant: インテル・コーポレーション

Inventor： ボロドフスキー、ヤンエイ. , ネルソン、ドナルドダブリュー. , フィリップス、マークシー.

IPC: G03F7/20 , H01J37/305 , H01J37/09 , H01L21/027

2.

发明专利
電子ビームスループットのためのデータ削減有权

公开(公告)号：JP6555619B2

公开(公告)日：2019-08-07

申请号：JP2016565696

申请日：2014-12-19

Applicant: インテル・コーポレーション

Inventor： ネルソン、ドナルドダブリュー. , ボロドフスキー、ヤンエイ. , フィリップス、マークシー. , ビッグウッド、ロバードエム.

IPC: G03F7/20 , H01L21/027

3.

发明专利
電子ビームの3ビームアパーチャアレイ审中-公开

公开(公告)号：JP2019057735A

公开(公告)日：2019-04-11

申请号：JP2018244840

申请日：2018-12-27

Applicant: インテル・コーポレーション

Inventor： ボロドフスキー、ヤンエイ. , ネルソン、ドナルドダブリュー. , フィリップス、マークシー.

IPC: G03F7/20 , H01J37/305 , H01J37/09 , H01L21/027

Abstract: 【課題】リソグラフィ処理技術及び性能のエリアにおいて、改善が必要とされている。【解決手段】相補型電子ビームリソグラフィ(CEBL)に適した複数のリソグラフィ装置及びこれを含む方法論が説明される。例において、電子ビームツールのブランカアパーチャアレイ(BAA)が説明される。BAAは、異なるピッチの3つの別個のアパーチャアレイを含む。【選択図】図4

4.

发明专利
電子ビームによる一方向の層上金属有权

公开(公告)号：JP6522662B2

公开(公告)日：2019-05-29

申请号：JP2016566227

申请日：2014-12-19

Applicant: インテル・コーポレーション

Inventor： ネルソン、ドナルドダブリュー. , ボロドフスキー、ヤンエイ. , フィリップス、マークシー.

IPC: H01L21/768 , H01L23/522 , H01L21/027 , G03F7/20 , H01J37/305 , H01L21/3205

5.

发明专利
電子ビームの3ビームアパーチャアレイ有权

公开(公告)号：JP6462720B2

公开(公告)日：2019-01-30

申请号：JP2016565678

申请日：2014-12-19

Applicant: インテル・コーポレーション

Inventor： ボロドフスキー、ヤンエイ. , ネルソン、ドナルドダブリュー. , フィリップス、マークシー.

IPC: G03F7/20 , H01J37/305 , H01L21/027

6.

发明专利
リアルタイムアラインメント方法、カラム、コンピュータプログラム及びコンピュータ可読記憶媒体有权

公开(公告)号：JP6779788B2

公开(公告)日：2020-11-04

申请号：JP2016564606

申请日：2014-12-22

Applicant: インテル・コーポレーション

Inventor： ボロドフスキー、ヤンエイ. , ネルソン、ドナルドダブリュー. , フィリップス、マークシー.

IPC: G03F7/20 , H01J37/305 , H01L21/027

7.

发明专利
電子ビームスタッガードビームアパーチャアレイ有权

公开(公告)号：JP6555620B2

公开(公告)日：2019-08-07

申请号：JP2016566248

申请日：2014-12-19

Applicant: インテル・コーポレーション

Inventor： ボロドフスキー、ヤンエイ. , ネルソン、ドナルドダブリュー. , フィリップス、マークシー.

IPC: G03F7/20 , H01L21/027

8.

发明专利
三次元集積回路の製造方法、および方法有权

公开(公告)号：JP6321215B2

公开(公告)日：2018-05-09

申请号：JP2016567258

申请日：2014-06-16

Applicant: インテル・コーポレーション

Inventor： ネルソン、ドナルドダブリュー. , ウェッブ、エムクレール , モロー、パトリック , ジュン、キミン

IPC: H01L25/18 , H01L23/12 , H01L25/04

CPC classification number: H01L25/0652 , H01L23/5383 , H01L23/5384 , H01L23/5389 , H01L24/03 , H01L24/06 , H01L24/17 , H01L25/50 , H01L2224/16225 , H01L2924/0002 , H01L2924/1436 , H01L2924/00

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