公开(公告)号：JP5567272B2

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：JP2008541409

申请日：2006-11-17

Applicant: インベンセンス インコーポレイテッドInvensense Inc.

Inventor： エス． ナシリ、スティーブン ,  シーガー、ジョセフ ,  リム、マーティン ,  アンソニー フランシス フラナリー、ジュニア ,  カストロ、アレクサンダー

IPC: G01C19/5769 ,  G01C19/56

CPC classification number: G01C19/56 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/574

公开(公告)号：JP2009520950A

公开(公告)日：2009-05-28

申请号：JP2008541409

申请日：2006-11-17

Applicant: インベンセンス インコーポレイテッドInvensense Inc.

Inventor： カストロ、アレクサンダー ,  シーガー、ジョセフ ,  エス． ナシリ、スティーブン ,  アンソニー フランシス フラナリー、ジュニア ,  リム、マーティン

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/56 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/574

Abstract: Ｘ−Ｙセンサ平面において角速度のＸ成分およびＹ成分を測定するための２軸センサが提供される。 ２軸センサは、角速度のＸ成分を測定するための第１のサブセンサと角速度のＹ成分を測定するための第２のサブセンサとを含む。 第１のサブセンサおよび第２のサブセンサは２軸センサ内の単一の気密封止部内に格納されている。