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公开(公告)号:JP5567272B2
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:JP2008541409
申请日:2006-11-17
Applicant: インベンセンス インコーポレイテッドInvensense Inc.
Inventor: エス. ナシリ、スティーブン , シーガー、ジョセフ , リム、マーティン , アンソニー フランシス フラナリー、ジュニア , カストロ、アレクサンダー
IPC: G01C19/5769 , G01C19/56
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5712 , G01C19/5719 , G01C19/574
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公开(公告)号:JP2009520950A
公开(公告)日:2009-05-28
申请号:JP2008541409
申请日:2006-11-17
Applicant: インベンセンス インコーポレイテッドInvensense Inc.
Inventor: カストロ、アレクサンダー , シーガー、ジョセフ , エス. ナシリ、スティーブン , アンソニー フランシス フラナリー、ジュニア , リム、マーティン
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5712 , G01C19/5719 , G01C19/574
Abstract: X−Yセンサ平面において角速度のX成分およびY成分を測定するための2軸センサが提供される。 2軸センサは、角速度のX成分を測定するための第1のサブセンサと角速度のY成分を測定するための第2のサブセンサとを含む。 第1のサブセンサおよび第2のサブセンサは2軸センサ内の単一の気密封止部内に格納されている。
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