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    マイクロメカニカル角速度センサ
    2.
    发明专利
    マイクロメカニカル角速度センサ 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018512568A

    公开(公告)日：2018-05-17

    申请号：JP2017542124

    申请日：2016-02-08

    Applicant: 株式会社村田製作所

    Inventor： ピーライネン・トンミ

    IPC: G01C19/5747 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

    CPC classification number: G01C19/5712 ,  G01C19/5747

    Abstract: マイクロメカニカルデバイスは、マイクロメカニカルデバイスの平面に直交する軸を中心とした角速度を二重差動的に検出するための、4つの開放駆動フレームと4つの検出質量とを含む。結合フレームシステムが、4つの開放駆動フレームを同期逆相駆動運動をするように結合する。4対の隣接する開放駆動フレームの各々の位相は反対であり、4つの開放駆動フレームの直線主運動の振幅は等しい。開放駆動フレームの直線駆動運動の軸は整列される。開放駆動フレームの逆相同期駆動運動は、ばね構成を介して4つの検出質量の逆相同期駆動運動に中継される。内側結合レバーシステムが、4つの検出質量を、同期逆相検出運動をするように結合する。4対の隣接する検出質量の各々の位相は反対である。検出質量の各々の直線検出運動の軸は整列される。【選択図】図1

    マイクロメカニカル角速度センサ
    3.
    发明专利
    マイクロメカニカル角速度センサ 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018508017A

    公开(公告)日：2018-03-22

    申请号：JP2017542126

    申请日：2016-02-08

    Applicant: 株式会社村田製作所

    Inventor： ピーライネン・トンミ

    IPC: G01C19/5747 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

    CPC classification number: G01C19/5712 ,  G01C19/5747

    Abstract: マイクロメカニカルデバイスは、マイクロメカニカルデバイスの平面と整列した単一軸を中心とした角速度を二重差動的に検出するための、4つの開放駆動フレームと4つの検出質量とを含む。結合フレームシステムが、4つの開放駆動フレームを同期逆相駆動運動をするように結合する。各4対の隣接する開放駆動フレームにおいて、2つの隣接する開放駆動フレームは、互いに反対の位相で動く。各駆動フレームの直線駆動運動の軸は整列される。開放駆動フレームの逆相同期駆動運動は、ばね構成を介して4つの検出質量の逆相同期駆動運動に中継される。内側結合レバーシステムが、4つの検出質量を、同期逆相検出運動をするように結合する。各4対の隣接する検出質量において、2つの隣接する検出質量の位相は反対である。検出質量の直線検出運動の軸が整列される。【選択図】図3

    角速度センサ素子および角速度センサ
    7.
    发明专利
    角速度センサ素子および角速度センサ 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2015075899A1

    公开(公告)日：2017-03-16

    申请号：JP2015548976

    申请日：2014-11-11

    Applicant: パナソニックIpマネジメント株式会社

    Inventor： 小林　康展 ,  康展 小林

    IPC: G01C19/5628 ,  G01C19/5621

    CPC classification number: G01C19/5705 ,  G01C19/5712

    Abstract: 角速度センサ素子は、固定部(21、28)と、固定部(21、28)に接続された一端を有し、第一の軸の方向に延びる延出部(25)と、延出部(25)と接続され、第一の軸と直交する第二の軸の方向に延びる第一の駆動振動体(31)と、第一の駆動振動体(31)に接続され、第一の軸の方向に延びる第一の検出振動体(38)と、第一の検出振動体(38)に接続され、第二の軸の方向に延びる第二の検出振動体(40)と、を備えている。角速度センサ素子(10)は、第一の軸と第二の軸とに直交する第三の軸の方向に第一の振動駆動体(31)を撓み振動駆動させ、第一の検出振動体(38)で第一の軸の周りの角速度を検出し、第二の検出振動体(40)で第二の軸の周りの角速度を検出する。

    改良されたジャイロスコープ構造体およびジャイロスコープ
    9.
    发明专利
    改良されたジャイロスコープ構造体およびジャイロスコープ 有权
    提高陀螺结构和陀螺仪

    公开(公告)号：JP2016530542A

    公开(公告)日：2016-09-29

    申请号：JP2016542418

    申请日：2014-09-10

    Applicant: 株式会社村田製作所

    Inventor： ブロムクビスト、アンッシ ,  ルオヒオ、ヤーッコ

    IPC: G01C19/574

    CPC classification number: B81B7/0058 ,  B81B2201/0242 ,  G01C19/5712

    Abstract: 質量体の平面を形成するように懸架されている2つの振動質量体を含む微小電気機械のジャイロスコープ。振動質量体は、質量体の平面にある共通の主軸の周りで回転振動を励起される。検出された角運動は、第1の検出軸の周りで第1の振動質量体の回転振動を起こし、また、第2の検出軸の周りで第2の振動質量体の回転振動を起こす。これらの検出軸は質量体の平面に対して垂直であり、ゼロでない距離で隔てられている。【選択図】図1

    Abstract translation: 微机电陀螺仪，其包含悬浮，以便形成所述质量块的平面内的两个振荡质量块。 地震质量被激励旋转振动绕公共主轴横卧在质量块的平面内。 绕第一检测轴所检测到的角运动导致第一振动质量的旋转振动，也会使周围的第二检测轴的第二振动质量的旋转振动。 这些检测轴垂直于质量块的平面，它是由一个非零的距离分开。 点域1

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