レーザ装置及び極端紫外光生成システム
    3.
    发明专利
    レーザ装置及び極端紫外光生成システム 有权
    激光装置和极紫外光生成系统

    公开(公告)号:JPWO2015045102A1

    公开(公告)日:2017-03-02

    申请号:JP2015538742

    申请日:2013-09-27

    Abstract: 本開示の一例は、レーザ装置である。レーザ装置は、パルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、マスタオシレータから出力されたパルスレーザ光の光路上に配置され、パルスレーザ光を順次増幅する複数の光増幅器とを含んでもよい。レーザ装置は、さらに、パルスレーザ光を通過させ複数の光増幅器のいずれかで発生した自励発振光を反射する光反射体と、光反射体によって反射された自励発振光を受光し吸収する光吸収体と、を含んでもよい。

    Abstract translation: 本公开的一个实例是激光装置。 的激光装置包括用于输出一个脉冲激光束设置在从所述主振荡器输出的脉冲激光束的光学路径上可包括用于顺序地放大脉冲激光束的多个光放大器的主振荡器。 所述激光装置还包括用于通过脉冲激光束通过,用于接收和吸收由光反射器反射的自振荡光反射中的任何一种多个光放大器产生的自激振荡光的光反射 光吸收体可以包括。

    レーザ発振装置
    4.
    发明专利
    レーザ発振装置 有权
    激光振荡器件

    公开(公告)号:JP2016063063A

    公开(公告)日:2016-04-25

    申请号:JP2014189674

    申请日:2014-09-18

    Abstract: 【課題】パルス状に発光されるレーザ光の偏光方向を容易に同一方向化可能なレーザ発振装置を提供する。 【解決手段】励起レーザ光4を照射する発光部2と、前記励起レーザ光を吸収して自然放出光12を放出するレーザ媒質5と、前記自然放出光を吸収しパルス光9を射出する可飽和吸収体6と、前記レーザ媒質を密着状態で保持するホルダ11とを具備し、該ホルダは前記レーザ媒質の少なくとも1面と密着する部分が金属製であり、前記レーザ媒質の前記ホルダと密着する側の縁部に前記励起レーザ光を照射する様構成した。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种激光振荡装置,其能够容易地将激光的偏振方向设定为相同方向的脉冲。解决方案:激光振荡装置包括:发射部分2,施加激发激光4 用于吸收激发激光并发射自发发射光12的激光介质5,吸收自发发射光和发射脉冲光9的可饱和吸收体6,以及用于紧紧地保持激光介质的保持器11。 附着在激光介质的至少一侧的保持器的一部分由金属制成,并且用激发激光照射附着在保持器上的激光介质的边缘。图1

    キャビティダンピングおよび強制モード同期を使用するレーザ装置
    6.
    发明专利
    キャビティダンピングおよび強制モード同期を使用するレーザ装置 有权
    使用倾腔和强制模式锁定的激光装置

    公开(公告)号:JP2015525003A

    公开(公告)日:2015-08-27

    申请号:JP2015527033

    申请日:2012-10-23

    Abstract: 本発明はモード同期およびキャビティダンピングレーザ装置を動作させるための、1つのポッケルスセルのような単一の電子−光学的スイッチまたは変調器(2)を使用した、2つの電圧源の間でマルチプレクシングする必要のない、解決策を提供する。ポッケルスセル(2)を制御する電気信号の複合波形は、LC回路リンギングと呼ばれる現象を使用することにより得られる。ここでLC回路は1つの誘導性要素と1つのコンデンサにより形成され、ここでポッケルスセルはそれ自体コンデンサとして機能する。リンギング周波数は振動の周期が好適には光共振器内部の1つの光パルスの往復時間の2倍長いように計算されなければならない。結果として、光損失が共振器内に周期を持って形成され、それが光パルスの行程と一致し、それによりパルス増強が一貫しかつ安定的である。【選択図】図1

    Abstract translation: 本发明是一种用于操作锁模和倾腔激光器件中,一个单一的电子,诸如一个普克尔盒 - 利用两个电压源之间的光学开关或调制器(2),复用 你不需要是,提供了解决方案。 用于控制该普克尔盒(2)的电信号的复合波形是通过使用被称为LC电路振铃现象获得的。 这里LC电路由单个电感元件和一个电容器形成,其中该Pockels单元用作这样的电容器。 振铃频率必须计算内部光学谐振腔到合适的振动循环的一个光脉冲的两倍长往返时间。 其结果是,与在谐振器周期性形成的光损失,这与光脉冲的路径重合,就是脉冲持续且稳定地提高。 点域1

    Optical device, laser device and extreme ultraviolet light generation device
    10.
    发明专利
    Optical device, laser device and extreme ultraviolet light generation device 有权
    光学器件,激光器件和超极紫外线发光器件

    公开(公告)号:JP2012175006A

    公开(公告)日:2012-09-10

    申请号:JP2011037703

    申请日:2011-02-23

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance stability of laser light.SOLUTION: The optical device may comprise: an optical module arranged on the beam propagation path of laser light; an actuator arranged on the beam propagation path and adjusting the beam propagation path of laser light; a measurement unit arranged on the beam propagation path and detecting the beam propagation path; and a control unit which controls the actuator based on the detection results of the beam propagation path of laser light detected by the measurement unit.

    Abstract translation: 要解决的问题:提高激光的稳定性。 解决方案:光学装置可以包括:布置在激光的光束传播路径上的光学模块; 布置在光束传播路径上并调节激光束的光束传播路径的致动器; 布置在所述光束传播路径上并且检测所述光束传播路径的测量单元; 以及控制单元,其基于由测量单元检测到的激光的光束传播路径的检测结果来控制致动器。 版权所有(C)2012,JPO&INPIT

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