公开(公告)号：JP5639169B2

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：JP2012521696

申请日：2010-07-16

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation ,  ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation

Inventor： チャオ・グオヘン ,  バエズ−イラバニ・メヘディ ,  ヤング・スコット ,  バスカー・クリス

IPC: G01N21/956 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8822

公开(公告)号：JP5639042B2

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：JP2011508679

申请日：2009-05-07

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation ,  ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation

Inventor： バエズ−イラバニ・メヘディ ,  ナサー・ゴシ・メヘラーン ,  チャオ・グオヘン

IPC: G01N23/227

CPC classification number: H01J37/244 ,  G01N2223/079 ,  G01N2223/086 ,  G01N2223/33 ,  H01J37/256 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/2511 ,  H01J2237/2807

公开(公告)号：JP2011520126A

公开(公告)日：2011-07-14

申请号：JP2011508679

申请日：2009-05-07

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation

Inventor： チャオ・グオヘン ,  ナサー・ゴシ・メヘラーン ,  バエズ−イラバニ・メヘディ

IPC: G01N23/227

CPC classification number: H01J37/244 ,  G01N2223/079 ,  G01N2223/086 ,  G01N2223/33 ,  H01J37/256 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/2511 ,  H01J2237/2807

Abstract: A spectrometer having an electron beam generator for generating an electron beam that is directed at a sample. An electron beam positioner directs the electron beam onto a position of the sample, and thereby produces a secondary emitted stream from the sample, where the secondary emitted stream includes at least one of electrons and x-rays. An secondary emitted stream positioner positions the secondary emitted stream onto a detector array, which receives the secondary emitted stream and detects both the amounts and the received positions of the secondary emitted stream. A modulator modulates the electron beam that is directed onto the sample, and thereby sweeps the electron beam between a first position and a second position on the sample. An extractor is in signal communication with both the modulator and the detector array, and extracts a differential signal that represents a difference between the signals that are received from the first position and the signals that are received from the second position.

公开(公告)号：JP5461534B2

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：JP2011512548

申请日：2009-05-29

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation

Inventor： ドイル・ポール ,  チャオ・グオヘン ,  ベルヤエブ・アレクサンダー ,  ラニアン・ジェイ．・レックス

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/6838

公开(公告)号：JP2012533756A

公开(公告)日：2012-12-27

申请号：JP2012521696

申请日：2010-07-16

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation

Inventor： チャオ・グオヘン ,  バエズ−イラバニ・メヘディ ,  ヤング・スコット ,  バスカー・クリス

IPC: G01N21/956 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8822

Abstract: 【解決手段】サンプル表面の粗度によるスペックルノイズを最小限に抑える暗視野検査システムは、ウェハ上に合成集束照射線を生成するための、複数のビーム成形経路を含み得る。 各ビーム成形経路は、傾斜角でウェハを照射することができる。 複数のビーム成形経路は、リング状照射を形成することができる。 このリング状照射は、スペックルの影響を低減することにより、ＳＮＲを改善することができる。 対物レンズは、ウェハからの散乱光を捕捉することができ、画像センサーは、対物レンズの出力を受け取ることができる。 ウェハの照射が傾斜角で実施されるため、対物レンズは高いＮＡを有し得、このことによって、画像センサーの光学解像度、および結果的に得られる信号レベルが改善される。
【選択図】図１Ａ

公开(公告)号：JP2011523215A

公开(公告)日：2011-08-04

申请号：JP2011512548

申请日：2009-05-29

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation

Inventor： チャオ・グオヘン ,  ドイル・ポール ,  ベルヤエブ・アレクサンダー ,  ラニアン・ジェイ．・レックス

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/6838

Abstract: 【解決手段】基板を調査するためのツールであって、基板を調査するためのツールヘッドと、基板の上面をツールヘッドに近接して配置するためのチャックと、基板に近接するツールヘッド上に配置される空気ベアリングとを具える。 空気ベアリングは、圧力源および真空源を有し、真空源は、基板を空気ベアリングの方へ引き寄せ、圧力源は、基板が空気ベアリングに物理的に接触することを防止する。 圧力源および真空源は、基板の上面をツールヘッドから所定の距離に配置するよう協働して働く。 この方法で空気ベアリングをツールの一部として用いることによって、基板のツールヘッドに対する位置合わせは、基板の後ろ側ではなく、基板の上面に対して行われる。
【選択図】図１

公开(公告)号：JP2010522431A

公开(公告)日：2010-07-01

申请号：JP2009554719

申请日：2008-03-19

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation

Inventor： ウォルターズ・クリスチャン・エイチ． ,  ダンドー・ハワード・ダブリュ． ,  チャオ・グオヘン ,  ドイル・ポール・アンドリュー ,  バエズ−イラバニ・メヘディ ,  ベルヤエブ・アレクサンダー

IPC: H01L21/683 ,  F16C32/06 ,  H01L21/66

CPC classification number: B25B11/005 ,  F16C29/025 ,  F16C32/0603 ,  H01L21/67784 ,  H01L21/6838

Abstract: 【解決手段】 基板処理方法および装置が開示される。 該装置は、表面にガス流を供給するように構成される、一つあるいはそれ以上のガス流開口を備えた表面を有するチャックを含む。 前記表面は、表面に亘って分散された一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを含む。 真空チャンネルは、それを通って真空を引くことを可能にする。 本方法では、基板は、基板の裏面でチャック表面の近傍に、チャック表面に充分に接近して支持されるので、ガス流と真空が基板の裏面とチャック表面とを隔置された関係に維持することができる。 ガス流は、ガス流開口を通して供給され、真空は、一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを通して引かれる。 基板は、基板表面に実質的に垂直な方向に沿って移動される。
【選択図】図１

公开(公告)号：JP5579452B2

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：JP2009554719

申请日：2008-03-19

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation

Inventor： チャオ・グオヘン ,  ベルヤエブ・アレクサンダー ,  ウォルターズ・クリスチャン・エイチ． ,  ドイル・ポール・アンドリュー ,  ダンドー・ハワード・ダブリュ． ,  バエズ−イラバニ・メヘディ

IPC: H01L21/683 ,  F16C32/06 ,  H01L21/66

CPC classification number: B25B11/005 ,  F16C29/025 ,  F16C32/0603 ,  H01L21/67784 ,  H01L21/6838

公开(公告)号：JP2012512419A

公开(公告)日：2012-05-31

申请号：JP2011542340

申请日：2009-12-15

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation

Inventor： ガイ・サミュエル・エス．エイチ． ,  ザパラク・ジョージ・エイチ． ,  ダーマディカリ・ビニート ,  チャオ・グオヘン ,  バエズ−イラバニ・メヘディ ,  リービ・アディー

IPC: G01N25/72 ,  G01N21/956

CPC classification number: G06T7/001 ,  G01N25/72 ,  G02F1/1309 ,  G06T2207/10048 ,  G06T2207/30148

Abstract: To increase inspection throughput, the field of view of an infrared camera can be moved over the sample at a constant velocity. Throughout this moving, a modulation (such as optical or electrical) can be provided to the sample and infrared images can be captured using the infrared camera. Moving the field of view, providing the modulation, and capturing the infrared images can be synchronized. The infrared images can be filtered to generate the time delay lock-in thermography, thereby providing defect identification. In one embodiment, this filtering accounts for the number of pixels of the infrared camera in a scanning direction. For the case of optical modulation, a dark field region can be provided for the field of view throughout the moving, thereby providing an improved signal-to-noise ratio during filtering. Localized defects can be repaired by a laser integrated into the detection system or marked by ink for later repair in the production line.