アクティブマトリクス基板、その製造方法および表示装置

    公开(公告)号:JPWO2017195699A1

    公开(公告)日:2019-02-14

    申请号:JP2017017229

    申请日:2017-05-02

    Abstract: 信頼性の高い配線接続構造を有するアクティブマトリクス基板、その製造方法および表示装置を提供する。 第1金属配線122と第2金属配線125は導体化されたIGZO層124を介して電気的に接続される。このとき、第2金属配線125とITO層109との間にはパッシベーション層107および有機絶縁膜108が形成されているので、第2金属配線125とITO層109は接触することなく分離されている。これにより、第2金属配線125のアルミニウム層125aとITO層109との間で電食によってコンタクト不良が発生することはなく、信頼性の高い配線接続構造となる。

    光シャッタ基板、プリンタヘッド

    公开(公告)号:JP2017181953A

    公开(公告)日:2017-10-05

    申请号:JP2016072390

    申请日:2016-03-31

    Abstract: 【課題】MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)を用いた光シャッタ基板においてトランジスタの閾値シフトを低減する。 【解決手段】光源からの光を遮断あるいは通過させる、機械的な光シャッタ機構と、該光シャッタ機構と電気的に接続するトランジスタとを備え、光シャッタ機構を通過した光が通る光透過経路LWを有する光シャッタ基板20であって、トランジスタのチャネルとして機能する半導体膜(7x・7y)と、光シャッタ機構のシャッタ体28よりも下層で半導体膜よりも上層に形成された、半導体膜の光透過経路側のエッジと重なる遮光性金属膜(12c・12f)とを含み、遮光性金属膜(12c・12f)は、上記エッジと重なる位置から光透過経路LW側に延伸している。 【選択図】図3

    光シャッタ基板、表示装置、プリンタヘッド

    公开(公告)号:JP2017181721A

    公开(公告)日:2017-10-05

    申请号:JP2016067600

    申请日:2016-03-30

    Abstract: 【課題】MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)を用いた光シャッタ基板においてトランジスタの閾値シフトを低減する。 【手段】光源からの光を遮断あるいは通過させる、機械的な光シャッタ機構と、該光シャッタ機構と電気的に接続するトランジスタとを備えた光シャッタ基板(20)であって、トランジスタのチャネルとして機能する半導体膜(7x・7y)と、光シャッタ機構のシャッタ体(28)よりも下層で半導体膜(7x・7y)よりも上層に位置する遮光性絶縁膜(11)とを含む。 【選択図】図3

    光シャッタ基板、プリンタヘッド

    公开(公告)号:JP2017191297A

    公开(公告)日:2017-10-19

    申请号:JP2016082433

    申请日:2016-04-15

    Abstract: 【課題】UV光を照射する光シャッタ基板において、光透過経路の透過率を向上させる。 【解決手段】光源からの光を遮断あるいは通過させる、機械的な光シャッタ機構と、該光シャッタ機構と電気的に接続するトランジスタとを備え、光シャッタ機構を通過した光が通る光透過経路を有する光シャッタ基板であって、光シャッタ機構のシャッタ体よりも下層に形成された絶縁膜(10)を含み、前記絶縁膜(10)は、透光性であって、光透過経路(LW)に該当する部分が除去されている 【選択図】図3

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