公开(公告)号：JPWO2019225703A1

公开(公告)日：2021-06-17

申请号：JP2019020485

申请日：2019-05-23

申请人： セントラル硝子株式会社

发明人： 兼子 譲 ,  青木 貴志 ,  野村 祐介 ,  佐々木 佳子 ,  佐野 明日香

IPC分类号： H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22 ,  C08F20/22 ,  C08F36/16 ,  C08F12/22 ,  C08F16/04 ,  H05B33/10

摘要： 本開示におけるパターン膜付き基板の製造方法は、パターンを有するパターン膜が基板上に形成されたパターン膜付き基板を、UVオゾン洗浄または酸素プラズマ洗浄して第1のパターン膜付き基板を得る洗浄工程と、上記第1のパターン膜付き基板を加熱して第2のパターン膜付き基板を得る加熱工程とを含み、上記洗浄工程により、上記第1のパターン膜付き基板のパターン膜の接触角が低下し、上記加熱工程により、上記第2のパターン膜付き基板のパターン膜の接触角が復元する。

公开(公告)号：JPWO2020054559A1

公开(公告)日：2021-09-16

申请号：JP2019034886

申请日：2019-09-05

申请人： セントラル硝子株式会社

发明人： 青木 貴志 ,  原 育成 ,  原 由香里 ,  松永 佳 ,  山中 一広

IPC分类号： C08K5/05 ,  C08K5/06 ,  C08F220/22 ,  C08F220/26 ,  C08F218/08 ,  C08F216/12 ,  C08K5/17 ,  G03F7/038 ,  H01L21/312 ,  H01L51/30 ,  C08L33/16

摘要： 本開示の含フッ素樹脂組成物は、下記(A)成分、(B)成分、(C)成分、および(D)成分を含むことを特徴とする。 (A)成分:式(1)および(2)で表される繰り返し単位を含む重合体。 (B)成分:硬化剤。 (C)成分:硬化触媒。 (D)成分:溶剤。 【化55】 (式中、R 1 、R 2 は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、トリフルオロメチル基、またはメチル基を示す。Xは炭素数1〜20の含フッ素炭化水素基である。Yは単結合、または炭素数1〜15の直鎖状、炭素数3〜15の環状の2価の有機基である。)

公开(公告)号：JPWO2019225702A1

公开(公告)日：2021-07-15

申请号：JP2019020482

申请日：2019-05-23

申请人： セントラル硝子株式会社

发明人： 兼子 譲 ,  青木 貴志 ,  野村 祐介 ,  佐々木 佳子 ,  佐野 明日香

IPC分类号： H01L51/50 ,  H01L27/32 ,  H05B33/14 ,  H05B33/22 ,  H05B33/12 ,  C08F220/24 ,  G09F9/00 ,  H05B33/10

摘要： 本開示におけるパターン膜付き基板の製造方法は、パターンを有するパターン膜が基板上に形成されるパターン膜付き基板であり、上記パターン膜が特定の繰り返し単位を有する含フッ素共重合体を含む、パターン膜付き基板を、UVオゾン洗浄または酸素プラズマ洗浄して第1のパターン膜付き基板を得る洗浄工程と、上記第1のパターン膜付き基板を加熱して第2のパターン膜付き基板を得る加熱工程とを含む。