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公开(公告)号：JP6167314B2
公开(公告)日：2017-07-26
申请号：JP2016167437
申请日：2016-08-30
Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社
IPC: G01C19/5614 , H01L29/84 , H01L41/113 , G01C19/5621
CPC classification number: G01P3/02 , G01C19/5719 , G01C19/5733 , G01P15/123 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0842
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公开(公告)号：JP5927434B2
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：JP2013535933
申请日：2012-09-28
Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社
IPC: H01L41/113 , H01L21/60 , G01C19/5628
CPC classification number: G01P15/0802 , B81B7/0048 , G01C19/5769 , H01L24/32 , B81B2201/025 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265
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公开(公告)号：JP2015078844A
公开(公告)日：2015-04-23
申请号：JP2013214502
申请日：2013-10-15
Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社
Inventor： 山本 賢作
IPC: H01L41/113 , H01L41/053 , G01C19/5628
Abstract: 【課題】振動体の質量バランスの改善量を確保できる角速度センサ素子を提供する。 【解決手段】第1の錘部36、第2の錘部40、第3の錘部56および第4の錘部60における振動体の検出電極および駆動電極を設けた側と同一平面上に第1の凹部36a、第2の凹部46a、第3の凹部56aおよび第4の凹部60aを設ける構成とした。振動体に比較して質量の大きな錘部の質量を調整することとなり、角速度センサ素子のZ軸方向の質量バランスの改善量が大きくなるため、振動体がX軸方向に正確に振動駆動できる。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供能够确保振动体的质量平衡的改善量的角速度传感器元件。解决方案：第一凹部36a，第二凹部46a，第三凹部56a和第四凹部60a设置在 在第一重量部分36，第二重量部分40，第三重量部分56和第四重量部分60中与具有检测电极和振动体的驱动电极的一侧相同的平面。重量比重于振动 身体调整 因此，角速度传感器元件的Z轴方向的质量平衡的改善量增加，因此能够使振动体在X轴方向上精确地振动驱动。
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公开(公告)号：JP6111434B2
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：JP2014503480
申请日：2013-03-05
Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社
IPC: G01C19/5621 , G01P15/09 , H01L41/113 , H01L41/047 , H01L41/053 , H01L41/23 , H01L41/29 , G01C19/5628
CPC classification number: G01P15/0922 , G01C19/574 , G01C19/5769 , G01P15/097 , H01L41/0815 , H01L41/1132
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公开(公告)号：JP6078901B2
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：JP2012550717
申请日：2011-12-22
Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/113 , G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5719 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/574 , H01L41/1132
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017015719A
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：JP2016167437
申请日：2016-08-30
Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社
IPC: G01C19/5614 , H01L29/84 , H01L41/113 , G01C19/5621
CPC classification number: G01P3/02 , G01C19/5719 , G01C19/5733 , G01P15/123 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0842
Abstract: 【課題】小型で高精度な慣性力センサを提供する。 【解決手段】角速度を検出する角速度検出素子であって、第1、第2、第3、第4の錘部と、前記第1、第2、第3、第4の錘部を囲み、複数の梁を介して前記第1、第2、第3、第4の錘部と接続する枠部と、前記枠部に設けられ、前記X軸周りの角速度を検出する第1の検出部と、前記枠部に設けられ、前記Y軸周りの角速度を検出する第2の検出部と、を備える。前記角速度検出素子の中心を通り互いに直交する軸をX軸、Y軸としたとき、前記第1の検出部は、前記X軸を挟んで対称に設けられ、前記第2の検出部は、前記Y軸を挟んで対称に設けられる角速度検出素子。 【選択図】図28
Abstract translation: 本发明的一个目的是在一个小尺寸提供了高精度的惯性力传感器。 解决方案：角速度传感器，用于检测角速度，首先，围绕第二，第三，和第四重量部，第一，第二，第三，和第四配重部，多个 通过所述光束的第一，第二，第三，和框架部分连接到第四重锤部的设置在所述框部中，用于检测绕X轴的角速度的第一检测器， 在框体部和用于检测绕Y轴的角速度的第二检测器。 当垂直于街道的轴线中心彼此的角速度检测元件的X轴的，Y轴，第一检测部对称地设置绕X轴，所述第二检测单元，其特征在于 关于Y轴对称地设置角速度检测元件。 .The 28
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公开(公告)号：JP2018115891A
公开(公告)日：2018-07-26
申请号：JP2017005564
申请日：2017-01-17
Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社
Abstract: 【課題】他軸方向の力による主軸出力への影響を緩和し、主軸出力特性を改善することのできる加速度センサを得ることを目的とする。 【解決手段】第1の可動電極を用いて主軸方向の加速度を検出して出力する第1検出部と、第2の可動電極を用いて他軸方向の加速度を検出して出力する第2検出部と、前記第2検出部の出力に基づいて前記第1検出部の感度を補正する補正回路と、を備える。ここで、前記補正回路は、前記他軸方向の加速度が正の側と負の側とで異なる数式を用いて出力を補正する構成とする。 【選択図】図12
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公开(公告)号：JP6031682B2
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：JP2013545780
申请日：2012-11-16
Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社
Inventor： 山本 賢作
IPC: H01L41/113 , G01C19/5628
CPC classification number: G01C19/5642 , G01C19/5621 , H01L41/0805 , H01L41/0933 , G01C19/5747
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公开(公告)号：JP6010774B2
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：JP2015040844
申请日：2015-03-03
Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社
IPC: G01P15/18 , G01P15/08 , G01P15/12 , G01C19/5614 , G01C19/5621
CPC classification number: G01P3/02 , G01C19/5719 , G01C19/5733 , G01P15/123 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0842
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