公开(公告)号：JP2018506863A

公开(公告)日：2018-03-08

申请号：JP2017549554

申请日：2015-12-09

申请人： ヨアネウム・リサーチ・フォーシュングスゲゼルシャフト・エムベーハー

发明人： ディーター・ネース ,  クリストフ・アウナー ,  バーバラ・シュタードローバー ,  シュテファン・ルットロフ ,  マリア・ベレグラーティス

IPC分类号： H01L21/027 ,  C08F2/38 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50 ,  C08F20/10 ,  C08F283/00

CPC分类号： G03F7/423 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/027 ,  G03F7/0275 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/085 ,  G03F7/40 ,  G03F7/425

摘要： 本発明は、少なくとも1つのアクリラートモノマーを含有するUV重合可能なプレポリマー組成物に基づくエンボスラッカーに関するものであり、前記プレポリマー組成物は、前記アクリラートモノマーの他に、3‐メルカプトプロピオナート、メルカプトアセタート、チオグリコラート及びアルキルチオールの群から選択される少なくとも1つのチオールと、必要に応じて、ポリエーテル‐シロキサン等の非イオン性界面活性剤、ポリオキシエチレン‐(9)‐ラウリルエーテル、単官能基のアルキル(メタ)アクリラート、ポリシロキサン(メタ)アクリラート、ペルフルオロアルキル(メタ)アクリラート及びペルフルオロポリエーテル(メタ)アクリラート等の脂肪アルコールエトキシレートの群から選択される表面活性の付着防止添加剤と、光開始剤と、を含んでいる。本発明は、エンボスラッカーでコーティングされた基板表面をエンボス加工するための方法にも関する。

公开(公告)号：JP6967969B2

公开(公告)日：2021-11-17

申请号：JP2017549554

申请日：2015-12-09

申请人： ヨアネウム・リサーチ・フォーシュングスゲゼルシャフト・エムベーハー

发明人： ディーター・ネース ,  クリストフ・アウナー ,  バーバラ・シュタードローバー ,  シュテファン・ルットロフ ,  マリア・ベレグラーティス

IPC分类号： C08F2/38 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50 ,  C08F20/10 ,  C08F283/00 ,  H01L21/027