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公开(公告)号:JP5665892B2
公开(公告)日:2015-02-04
申请号:JP2012557457
申请日:2011-01-19
Applicant: ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh , ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh
Inventor: ノイル ラインハート , ノイル ラインハート , レティヒ クリスティアン , レティヒ クリスティアン , トラウトマン アヒム , トラウトマン アヒム , クリストフ マイゼル ダニエル , クリストフ マイゼル ダニエル , ブーマン アレクサンダー , ブーマン アレクサンダー , エンゲサー マヌエル , エンゲサー マヌエル , フェイ アンド , フェイ アンド
CPC classification number: G01P15/09 , G01P15/0802 , G01P15/12 , G01P15/123
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公开(公告)号:JP5649972B2
公开(公告)日:2015-01-07
申请号:JP2010533522
申请日:2008-10-02
Applicant: ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh , ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh
Inventor: ノイル ラインハルト , ノイル ラインハルト , クラッセン ヨハネス , クラッセン ヨハネス , オームス トルステン , オームス トルステン , クールマン ブルクハルト , クールマン ブルクハルト , フランケ アクセル , フランケ アクセル , コーン オリヴァー , コーン オリヴァー , クリストフ マイゼル ダニエル , クリストフ マイゼル ダニエル , ハウアー イェルク , ハウアー イェルク , ゴメス ウド−マルティン , ゴメス ウド−マルティン , ケーア ケルステン , ケーア ケルステン
IPC: G01C19/574 , B81B3/00 , G01C19/56 , H01L29/84
CPC classification number: G01C19/574 , F16F1/025 , G01C19/5747 , G01P3/44
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公开(公告)号:JP5436561B2
公开(公告)日:2014-03-05
申请号:JP2011528270
申请日:2009-08-05
Inventor: ザトラー ローベルト , クリストフ マイゼル ダニエル , ハウアー イェルク
IPC: G01C19/5733 , G01C19/56 , G01C19/574 , G01C19/5755
CPC classification number: G01C19/56 , Y10T29/49826
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4.
公开(公告)号:JP2011529402A
公开(公告)日:2011-12-08
申请号:JP2011520407
申请日:2009-06-15
Inventor: ラウツィス カルステン , クリストフ マイゼル ダニエル , フリードリッヒ トーマス
CPC classification number: B81B3/0037 , B81B2201/033 , H02N1/008
Abstract: 本発明は、マイクロメカニカル構造体(1)、特にセンサ又はアクチュエータであって、少なくとも2つの相対的に移動可能な構造体区分(6,7,8,9)によって画成された少なくとも1つの作業間隙(4,5)と、該作業間隙(4,5)を調節する手段とが設けられている形式のものに関する。 このような形式のマイクロメカニカル構造体において、本発明の構成では、前記手段は、マイクロメカニカル構造体(1)の運転中に基準点に対して位置固定の少なくとも1つの構造体区分(6,7)が、運転時に基準点に対して可動の構造体区分(8,9)に対して移動することによって、作業間隙(4,5)を拡大するように、形成されている。 本発明はさらに、作業間隙を調節する方法にも関する。
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5.
公开(公告)号:JP2013525747A
公开(公告)日:2013-06-20
申请号:JP2012557457
申请日:2011-01-19
Inventor: ノイル ラインハート , レティヒ クリスティアン , トラウトマン アヒム , クリストフ マイゼル ダニエル , ブーマン アレクサンダー , エンゲサー マヌエル , フェイ アンド
CPC classification number: G01P15/09 , G01P15/0802 , G01P15/12 , G01P15/123
Abstract: 基板(1)と、基板に変位可能に懸架されたサイズモ質量体(3)と、基板とサイズモ質量体の間に設けられた少なくとも1つのピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a',1b')と、測定装置(M1;M2;M1',M1'')とを有するピエゾ抵抗型マイクロメカニカルセンサ構成素子において、
ピエゾ抵抗性の梁は、サイズモ質量体の変位時に抵抗変化し、
ピエゾ抵抗性の梁は、側面および/または表面および/または裏面の導体路(2a,2b;2a',2b')を有しており、
導体路は、ピエゾ抵抗性の梁を少なくとも部分的に覆っており、基板の領域の中まで延在しており、
測定装置は、基板および導体路に電気的に接続されており、抵抗変化を測定するために、基板からピエゾ抵抗性の梁を通って延在し、かつ、ピエゾ抵抗性の梁から導体路を通って延在する回路経路によって構成されている、
ことを特徴とするセンサ構成素子。-
公开(公告)号:JP2012503761A
公开(公告)日:2012-02-09
申请号:JP2011528270
申请日:2009-08-05
Inventor: ハウアー イェルク , クリストフ マイゼル ダニエル , ザトラー ローベルト
IPC: G01C19/5733 , G01C19/56 , G01C19/574 , G01C19/5755
CPC classification number: G01C19/56 , Y10T29/49826
Abstract: A coupling structure for a rotation rate sensor apparatus, having at least one first oscillating mass; and having a first frame, surrounding the first oscillating mass, to which the first oscillating mass is coupled; the first frame encompassing four angle elements, each of which angle elements has at least one first limb and one second limb and is respectively coupled with the first limb and with the second limb to another adjacent angle element of the four angle elements. Also described is a further coupling structure for a rotation rate sensor apparatus, to a rotation rate sensor apparatus, to a manufacturing method for a coupling structure for a rotation rate sensor apparatus, and to a manufacturing method for a rotation rate sensor apparatus.
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公开(公告)号:JP2011504585A
公开(公告)日:2011-02-10
申请号:JP2010533522
申请日:2008-10-02
Inventor: フランケ アクセル , ハウアー イェルク , ゴメス ウド−マルティン , コーン オリヴァー , ケーア ケルステン , クリストフ マイゼル ダニエル , オームス トルステン , クールマン ブルクハルト , クラッセン ヨハネス , ノイル ラインハルト
CPC classification number: G01C19/574 , F16F1/025 , G01C19/5747 , G01P3/44
Abstract: A yaw-rate sensor having a substrate and a plurality of movable substructures that are mounted over a surface of the substrate, the movable substructures being coupled to a shared, in particular, central spring element, means being provided for exciting the movable substructures into a coupled oscillation in a plane that extends parallel to the surface of the substrate, the movable substructures having Coriolis elements, means being provided for detecting deflections of the Coriolis elements induced by a Coriolis force, a first Coriolis element being provided for detecting a yaw rate about a first axis, a second Coriolis element being provided for detecting a yaw rate about a second axis, the second axis being oriented perpendicularly to the first axis.
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公开(公告)号:JP2011500337A
公开(公告)日:2011-01-06
申请号:JP2010528354
申请日:2008-09-26
Inventor: ハウアー イェルク , クリストフ マイゼル ダニエル
CPC classification number: G01C19/5684 , G01C19/5747
Abstract: A micromechanical device includes at least one drive frame and at least one vibrator, the vibrator being situated in a region surrounded by the drive frame; the vibrator being mechanically coupled to the drive frame. The drive frame is able to be excited to generate a flexural vibration.
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