薄膜製造方法及び有機ELデバイスの製造方法

    公开(公告)号:JP2017069199A

    公开(公告)日:2017-04-06

    申请号:JP2016188612

    申请日:2016-09-27

    CPC classification number: B05D1/26 G02B5/20 H01L51/50 H05B33/10

    Abstract: 【課題】製造効率の向上を図れる薄膜製造方法及び有機ELデバイスの製造方法を提供する。 【解決手段】N本のラインヘッドに対して支持体を一回通過させながら、第1〜第Mのラインヘッド(Mは2以上N以下)から支持体上に塗布液を吐出して塗布膜を形成する塗布膜形成工程と、塗布膜を乾燥させて薄膜を得る乾燥工程と、を備え、第mのラインヘッド(mは2以上M以下)の薄膜形成用ノズル孔28は、第(m−1)の薄膜形成用ノズル孔列Q m−1 のうち隣接する薄膜形成用ノズル孔の間に位置するように配置されており、第1のラインヘッドが塗布液を吐出する毎に、第mのラインヘッドは、第1のラインヘッドの吐出タイミングに対する所定の遅延タイミングで、塗布液を支持体に塗布し、第1〜第Mのラインヘッドは、薄膜形成領域の形状に応じて選択される薄膜形成用ノズル孔から塗布液を支持体に吐出する。 【選択図】図4

    有機ELパネルの製造方法
    4.
    发明专利
    有機ELパネルの製造方法 有权
    制造有机EL面板的方法

    公开(公告)号:JP2016126963A

    公开(公告)日:2016-07-11

    申请号:JP2015001579

    申请日:2015-01-07

    Abstract: 【課題】発光輝度の不均一(発光ムラ)を低減することが可能な有機ELパネルの製造方法を提供する。 【解決手段】本発明の一実施形態に係る有機ELパネルの製造方法は、有機材料を含む発光層を少なくとも含む機能層を有する有機ELパネルの製造方法であって、ロールツーロール方式を用いて、可撓性を有する基材110を水平搬送し、基材110の上方に配置されたインクジェット塗布器30によって、有機材料を含む塗布液を基材110に塗布して、機能層を形成する塗布工程を有し、塗布工程では、基材110の下方に配置されたエア浮上ステージ20によって、基材110をエア浮上させて、塗布液を基材に塗布する。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种能够减少发光亮度的不均匀性(发光不均匀性)的有机EL面板的制造方法。解决方案:一种制造有机EL面板的方法,其包括至少包括含有 根据实施例的有机材料包括使用卷对卷系统水平地输送具有柔性的基材110并通过将含有有机材料的涂布液通过油墨施加到基材110而形成功能层的施加步骤 喷涂器30布置在基底材料110的上方。施加步骤通过布置在基底材料110下方的空气浮动台20将基底材料110空气浮动,并将施加液施加到基底材料。图1

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