ナノインプリント用樹脂組成物、ナノインプリント基板、及びナノインプリント基板の製造方法
    2.
    发明专利
    ナノインプリント用樹脂組成物、ナノインプリント基板、及びナノインプリント基板の製造方法 有权
    纳米压印树脂组合物中,纳米压印基板,以及纳米压印基板的制造方法

    公开(公告)号:JPWO2014087817A1

    公开(公告)日:2017-01-05

    申请号:JP2014525216

    申请日:2013-11-13

    Abstract: ナノインプリントをする際、モールドを剥離する時に基板から被転写樹脂が剥離されることを防止する、また、熱ナノインプリントする際にスループットが向上できるとともに精度よくモールド上のパターンを被転写樹脂に転写することができるナノインプリント用樹脂を提供する。下記式(1)で表されるナノインプリント用樹脂。【化1】(式中、R1〜R5は、それぞれ独立に−H又は−OHを表しR1〜R5の少なくとも1つは−OHである。R6は炭素数1〜20の直鎖状、分岐状あるいは環状アルキル基、炭素数6〜20のアリール基、又は炭素数7〜20のアラルキル基を表す。Xは、アミド又はエステルを表す。Yは、アミド又はエステルを表すが、含まれていなくてもよい。Pは1〜10の整数を表す。m及びnは1以上の整数である。)

    Abstract translation: 当纳米压印,以防止转印树脂从当模具被释放基板上剥离,也能够准确地对模具的图案转移到被转印树脂能够提高吞吐量当热纳米压印 提供纳米压印树脂即可。 由下式表示的纳米压印树脂(1)。 (在该式中,R1〜R5各自为至少1 R1至R5的表示-H或-OH独立地是-OH .R6是直链,支链 或环状的烷基,碳原子数为6〜20,或.X表示碳原子数为7〜20,.Y表示酰胺或酯是酰胺或酯的芳烷基的芳基,不包括 好.P也是.M和n表示1至10的整数是1或以上的整数。)

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