公开(公告)号：JP4492764B2

公开(公告)日：2010-06-30

申请号：JP14356299

申请日：1999-05-24

申请人： 日本ゼオン株式会社

发明人： 俊郎 山田 ,  俊達 平山 ,  達也 杉本 ,  充 菅原

IPC分类号： H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  C07C17/20 ,  C07C17/38 ,  C07C17/383 ,  C07C17/389 ,  C07C23/08 ,  H01L21/205 ,  H01L21/311 ,  H01L21/312 ,  H01L21/3213

CPC分类号： H01L21/32137 ,  C07C17/208 ,  C07C17/38 ,  C07C17/383 ,  C07C17/389 ,  C07C23/08 ,  H01L21/0212 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/3127