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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP6077960B2
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：JP2013153367
申请日：2013-07-24
Applicant: 日本電子株式会社
IPC: H01J37/153
CPC classification number: G02B27/0037 , G01N23/20 , G21K1/08 , H01J3/12 , H01J3/26 , H01J37/05 , H01J37/147 , H01J37/1472 , H01J37/153 , H01J37/28 , G02B27/42 , G02B27/4205 , H01J2237/1532 , H01J2237/1534 , H01J3/04
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公开(公告)号：JP2017174751A
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：JP2016062293
申请日：2016-03-25
Applicant: 日本電子株式会社
Inventor： 神保 雄
IPC: H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/21 , H01J37/153
Abstract: 【課題】時間変化する収差を補正することができる電子顕微鏡および収差補正方法を提供する。 【解決手段】電子顕微鏡100は、光学系の収差を補正するための収差補正素子を備えた電子顕微鏡であって、収差の時間変化を記録する収差記録部612と、収差記録部612によって記録された収差の時間変化の情報に基づいて、時間変化する収差が補正されるように収差補正素子を動作させる制御を行う収差補正素子制御部614と、を含む。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2017010671A
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：JP2015122639
申请日：2015-06-18
Applicant: 日本電子株式会社
IPC: H01J37/153 , H01J37/147 , H01J37/16
Abstract: 【課題】磁場変動が電子線に与える影響を低減することができるライナーチューブを提供することにある。 【解決手段】ライナーチューブ10は、電子顕微鏡の鏡筒2内に配置され、内部が電子線EBの経路となるライナーチューブであって、材質が銅、金、銀、またはこれらの金属のうちの1つを主成分とする合金である第1筒状部材110を含む。 【選択図】図1
Abstract translation: 的磁场的变化是提供一种衬垫管，其可以减少对电子束的影响。 衬垫管10被设置在电子显微镜的镜筒2，电子束EB的路径内部的衬管，所述材料是铜，金，银或这些金属的， 一个包括第一管状构件110是一种合金，其主要成分。 点域1
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公开(公告)号：JP2020119762A
公开(公告)日：2020-08-06
申请号：JP2019010067
申请日：2019-01-24
Applicant: 国立研究開発法人物質・材料研究機構 , 日本電子株式会社
IPC: H01J37/073 , H01J27/26 , H01J37/06 , H01J1/304
Abstract: 【課題】気体を導入しないで電界蒸発のみによって、エミッション電流を安定化させる、電子源の安定化方法を提供する。 【解決手段】電子ビームを発生する電子源としてLaB 6 を用い、電子ビームを発生させるときに電子源に印加する電圧と比較して、電界が逆方向であって、電圧の絶対値が4倍以上であるパルス電圧を電子源に印加することにより、電子源を安定化する。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2019057384A
公开(公告)日：2019-04-11
申请号：JP2017180228
申请日：2017-09-20
Applicant: 日本電子株式会社
Inventor： 神保 雄
IPC: H01J37/141
Abstract: 【課題】複数の光学素子を備えた荷電粒子線装置において、容易に、光学素子のヒステリシスの影響を低減することができる荷電粒子線装置を提供する。 【解決手段】荷電粒子線装置は、電流が供給されることにより磁場を発生させる光学素子を複数備えた光学系と、複数の光学素子の各々に供給される電流の変化を検出し、検出した電流の変化に応じて光学素子に対して緩和処理を行う制御部と、を含む。 【選択図】図5
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