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    感光性樹脂組成物
    4.
    发明专利
    感光性樹脂組成物 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2017217293A1

    公开(公告)日：2019-04-04

    申请号：JP2017021094

    申请日：2017-06-07

    申请人： 東レ株式会社

    发明人： 早坂 惇 ,  馬場 修 ,  奥田 良治

    IPC分类号： G03F7/023 ,  G03F7/037 ,  G03F7/16 ,  G03F7/40 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22 ,  C08G73/10 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  G03F7/085 ,  G03F7/004

    摘要： 低温での加熱処理においても金属材料、とりわけ銅との密着性に優れる硬化膜が得られ、かつ高い塗布性を有する感光性樹脂組成物を提供する。 (A)脂肪族ジアミンに由来する有機基を有するアルカリ可溶性樹脂、(B)感光剤、(C)1013hPa、25℃の条件下で液体でありかつ沸点が210℃以上の化合物を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(C)1013hPa、25℃の条件下で液体でありかつ沸点が210℃以上の化合物を(A)脂肪族ジアミンに由来する有機基を有するアルカリ可溶性樹脂100質量部に対し、0.1〜15質量部含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

    樹脂組成物
    6.
    发明专利
    樹脂組成物 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2018173920A1

    公开(公告)日：2020-01-23

    申请号：JP2018010245

    申请日：2018-03-15

    申请人： 東レ株式会社

    发明人： 木内 洋平 ,  奥田 良治

    IPC分类号： C08J5/18 ,  C08G73/10

    摘要： 本発明は、低誘電正接を有し、かつコイルパターン形成に伴う熱処理や薬液処理に耐えることが可能な硬化膜を得られる樹脂組成物を提供することを目的とする。 上記目的を達成するための本発明の構成は以下のとおりである。すなわち、(P)脂環構造と芳香環構造を有する樹脂を含有する樹脂組成物であって、前記(P)脂環構造と芳香環構造を有する樹脂が、2個以上の脂環を有する基を有し、かつ、2個以上のベンゼン環が単結合で結合された基を有する、樹脂組成物である。

    樹脂組成物、硬化膜、半導体装置およびそれらの製造方法
    7.
    发明专利
    樹脂組成物、硬化膜、半導体装置およびそれらの製造方法 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2018066395A1

    公开(公告)日：2019-07-25

    申请号：JP2017034457

    申请日：2017-09-25

    申请人： 東レ株式会社

    发明人： 橋本 啓華 ,  増田 有希 ,  奥田 良治

    IPC分类号： C08L79/08 ,  C08L63/00 ,  C08K5/20 ,  C08G73/06 ,  H01L21/312 ,  H01L23/12 ,  C08L79/04

    摘要： (A)ポリイミド、ポリイミド前駆体、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾオキサゾール前駆体、その他のポリアミド、およびこれらの共重合体から選択される1種類以上の樹脂、(D)エポキシ基数が3以上の熱架橋剤からなる樹脂組成物であって、さらに(E)分子量が60以上1000以下の第3級アミド構造を有する化合物を含む、樹脂組成物。保存安定性や引き置き安定性に優れ、低温での加熱処理により硬化が可能でありながら、耐薬品性の高い硬化膜を得ることができ、さらにその硬化膜を適用したデバイスの信頼性試験後におけるデバイス特性の低下を抑制できる樹脂組成物を提供する。