公开(公告)号：JP2018026138A

公开(公告)日：2018-02-15

申请号：JP2017156619

申请日：2017-08-14

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： アントン ジェイ.デヴィリアーズ ,  ロドニー エル.ロビンソン ,  デイヴィッド トラヴィス ,  ロナルド ナスマン ,  ジェイムズ グルーテグード ,  ノーマン エー.ジェイコブソン ジュニア ,  デイヴィッド ヘッツァー ,  リオール フリ ,  ジョシュア フーゲ

IPC: G05D7/06

CPC classification number: H01L21/0275 ,  B05C5/02 ,  B05C11/1007 ,  B05C11/1047 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67023 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67253 ,  H01L22/12

Abstract: 【課題】 メニスカス制御を備えた高精度分配システムを提供する。 【解決手段】 本明細書の技術は、分配動作を補助するために選択的に膨張および収縮するように構成された細長いブラダを使用するブラダベース分配システムを含む。この分配システムは、微細加工のための流体ろ過に付随して起こることが多いフィルタラグを補償する。この分配システムはまた、高純度で高精度の分配ユニットを提供する。メニスカスセンサが、ノズルにおいてプロセス流体のメニスカスの位置を監視する。細長いブラダユニットは、ブラダを選択的に膨張または収縮させ、それによりメニスカス位置を移動または保持することによって、メニスカスの位置を特定の位置に維持するために使用される。細長いブラダの膨張は、分配動作完了後のサックバック動作にも使用される。 【選択図】図11

公开(公告)号：JP6948875B2

公开(公告)日：2021-10-13

申请号：JP2017156611

申请日：2017-08-14

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： アントン ジェイ.デヴィリアーズ ,  ロドニー エル.ロビンソン ,  ロナルド ナスマン ,  デイヴィッド トラヴィス ,  ジェイムズ グルーテグード ,  ノーマン エー.ジェイコブソン ジュニア

IPC: G05D16/08 ,  G05D7/06

公开(公告)号：JP2018040349A

公开(公告)日：2018-03-15

申请号：JP2017156616

申请日：2017-08-14

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： アントン ジェイ.デヴィリアーズ ,  ロドニー エル.ロビンソン ,  デイヴィッド トラヴィス ,  ロナルド ナスマン ,  ジェイムズ グルーテグード ,  ノーマン エー.ジェイコブソン ジュニア ,  デイヴィッド ヘッツァー ,  リオール フリ ,  ジョシュア エス.フーゲ

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/10 ,  H01L21/027 ,  F04B43/12

CPC classification number: H01L21/0275 ,  B05B15/557 ,  B05C5/02 ,  B05C11/1007 ,  B05C11/1047 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67023 ,  H01L21/6715

Abstract: 【課題】 高純度分配システムを提供する。 【解決手段】 本明細書の技術は、分配動作を補助するために選択的に膨張および収縮するように構成された細長いブラダを使用するブラダベース分配システムを含む。この分配システムは、微細加工のための流体ろ過に付随して起こることが多いフィルタラグを補償する。この分配システムはまた、高純度で高精度の分配ユニットを提供する。プロセス流体フィルタが、プロセス流体源ならびにシステム弁の下流に配置される。プロセス流体フィルタの下流には弁がない。分配動作は、システム弁が開放されている間に、細長いブラダを使用することによって開始かつ停止することができる。細長いブラダは、分配動作を停止または一時停止するために膨張することができ、その後分配動作を補助するために収縮することができる。 【選択図】図10

公开(公告)号：JP2018026137A

公开(公告)日：2018-02-15

申请号：JP2017156611

申请日：2017-08-14

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： アントン ジェイ.デヴィリアーズ ,  ロドニー エル.ロビンソン ,  ロナルド ナスマン ,  デイヴィッド トラヴィス ,  ジェイムズ グルーテグード ,  ノーマン エー.ジェイコブソン ジュニア

IPC: G05D16/08 ,  G05D7/06

CPC classification number: G03F7/16 ,  G03F7/30 ,  H01L21/0274 ,  H01L22/26

Abstract: 【課題】 高純度分配ユニットを提供する。 【解決手段】 本明細書の技術は、分配動作を補助するために選択的に膨張および収縮するように構成された細長いブラダを使用するブラダベース分配システムを含む。この分配システムは、微細加工のための流体ろ過に付随して起こることが多いフィルタラグを補償する。この分配システムはまた、高純度で高精度の分配ユニットを提供する。モジュラー式液圧ユニットが、細長いブラダと、このブラダの外面と接触する作動液とを収容する。加圧されたプロセス流体が細長いブラダ内にあるとき、液圧制御は、膨張を引き起こすためにブラダに対する圧力を選択的に低減し、その後分配動作を補助するために液圧を選択的に増大することができる。 【選択図】図1