公开(公告)号：JP6442377B2

公开(公告)日：2018-12-19

申请号：JP2015144946

申请日：2015-07-22

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： 佐々 卓志 ,  石丸 大輔 ,  大久保 敬弘 ,  湯本 知行 ,  牟田 友彦

IPC: H01L21/027 ,  F04B43/10

公开(公告)号：JP5853971B2

公开(公告)日：2016-02-09

申请号：JP2013040814

申请日：2013-03-01

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： 大久保 敬弘 ,  戸塚 誠也

IPC: G03F7/16 ,  B05C11/10

公开(公告)号：JP2019192814A

公开(公告)日：2019-10-31

申请号：JP2018085058

申请日：2018-04-26

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： 大久保 敬弘 ,  榎木田 卓 ,  古庄 智伸

IPC: B05C11/00 ,  B05C11/10 ,  H01L21/027

Abstract: 【課題】品質管理を容易にする。 【解決手段】ウェハにレジスト液を塗布して所定の処理を行うレジスト塗布装置32にレジスト液を供給するレジスト液供給装置200であって、レジスト液の供給先のレジスト塗布装置32は複数であり、レジスト液を貯留するレジスト液ボトルBに貯留されていたレジスト液を複数のレジスト塗布装置32それぞれに送出する、複数のレジスト塗布装置32で共通の送出部212と、送出部212を制御する制御部Uと、を有し、送出部212は、レジスト液を吸引して補充し、補充したレジスト液を送出する第1及び第2のポンプ212a、212bを有し、制御部Uは、第1及び第2のポンプ212a、212bのいずれかが複数のレジスト塗布装置32にレジスト液を送出することが可能な状態に常になるように、第1及び第2のポンプ212a、212bそれぞれの吸引タイミングを制御する。 【選択図】図6

公开(公告)号：JP2016084803A

公开(公告)日：2016-05-19

申请号：JP2015144946

申请日：2015-07-22

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： 佐々 卓志 ,  石丸 大輔 ,  大久保 敬弘 ,  湯本 知行 ,  牟田 友彦

IPC: H01L21/027 ,  F04B43/10

Abstract: 【課題】液体の滞留を抑制する。 【解決手段】ポンプ100は、弾性を有し移送対象の液体が流通するチューブ102と、チューブ102の外側を覆い、チューブ102の外表面との間の内部空間Vで気体を保持するチューブ用筐体104と、内部空間Vへの気体の供給と内部空間Vからの気体の排出を行う電空レギュレータREとを備える。 【選択図】図6

Abstract translation: 要解决的问题：抑制液体积聚。解决方案：泵100包括：弹性管102，液体，转移物体在其中循环; 管壳体104覆盖管102的外侧并将气体保持在其内部和管102的外表面之间的内部空间V中; 以及将气体供应到内部空间V并从内部空间V排出气体的电动气动调节器RE。图6