公开(公告)号：JPWO2003029742A1

公开(公告)日：2005-01-20

申请号：JP2003532912

申请日：2002-09-27

Applicant: 株式会社アイ・エイチ・アイ・エアロスペース

Inventor： 和憲 川崎 ,  和憲 川崎 ,  広明 旭 ,  広明 旭 ,  祥ニ 松村 ,  祥ニ 松村 ,  高田　哲也 ,  哲也 高田

IPC: F27B17/02 ,  F27B17/00 ,  F27D7/06 ,  F27D11/00 ,  F27D19/00 ,  F27D21/02 ,  H05B6/32 ,  H05B7/00 ,  H05B7/06 ,  H05B7/101

CPC classification number: F27D21/02 ,  F27B17/00 ,  F27B17/0016 ,  F27B17/02 ,  F27D7/06 ,  F27D11/00 ,  F27D19/00 ,  H05B6/32

Abstract: 真空チャンバー内に、試料の浮遊位置を中心として互いに直交する3軸上で各々対向する3組の電極を備えると共に、真空チャンバーに、試料の浮遊位置に向けたアクセス用ポートを三次元的に配置した静電浮遊炉とし、試料に対するアクセス方向を多方向にして、各種機器の配置の自由度を高めると共に、機器の増設にも容易に対処し得るものとした。