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    圧力式流量制御装置及び流量自己診断方法
    5.
    发明专利
    圧力式流量制御装置及び流量自己診断方法 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2017170174A1

    公开(公告)日：2019-02-14

    申请号：JP2017011851

    申请日：2017-03-23

    申请人： 株式会社フジキン

    发明人： 永瀬 正明 ,  平田 薫 ,  澤田 洋平 ,  杉田 勝幸 ,  西野 功二 ,  池田 信一

    IPC分类号： G05D7/06

    摘要： 圧力式流量制御装置(8)は、絞り部(2)と、絞り部上流の制御弁(6)と、上流圧力検出器(3)および下流圧力検出器(4)と、制御弁と絞り部との間の流路における圧力降下データと基準圧力降下データとを用いて流量制御を診断するコントローラ(7)とを備え、下流圧力検出器の下流側には遮断弁(9)が設けられ、流量自己診断機能を実行するとき、制御弁と遮断弁とに閉命令が出され、コントローラ(7)は、制御弁を閉じてからの上流圧力検出器および下流圧力検出器の出力を用いて所定の臨界膨張条件を満足しているか否かを判定し、所定の臨界膨張条件を満足する期間の圧力降下データを用いて流量制御を診断する。

    流量制御方法および流量制御装置
    6.
    发明专利
    流量制御方法および流量制御装置 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2019208417A1

    公开(公告)日：2021-05-13

    申请号：JP2019016763

    申请日：2019-04-19

    申请人： 株式会社フジキン

    发明人： 平田 薫 ,  小川 慎也 ,  杉田 勝幸 ,  西野 功二 ,  池田 信一

    IPC分类号： G05D7/06

    摘要： 流路に設けられた第1コントロール弁6と、第1コントロール弁の下流側に設けられた第2コントロール弁8と、第1コントロール弁の下流側の流体圧力を測定する圧力センサ3とを備える流量制御装置100を用いて行う流量制御方法は、(a)圧力センサの出力に基づいて第1流量になるように第1コントロール弁の開度を制御しつつ第2コントロール弁を開いた状態に維持して第1流量で流体を流している状態から、第1コントロール弁の開度を閉じるステップと、(b)圧力センサの出力に基づいて、第1コントロール弁の下流に残留する圧力を、第2コントロール弁の開度を調整することによって制御し、第2コントロール弁の下流側に第2流量で流体を流すステップとを包含する。

    コントロール弁のシートリーク検知方法
    8.
    发明专利
    コントロール弁のシートリーク検知方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020087164A

    公开(公告)日：2020-06-04

    申请号：JP2018223370

    申请日：2018-11-29

    申请人： 株式会社フジキン

    发明人： 平田 薫 ,  井手口 圭佑 ,  小川 慎也 ,  杉田 勝幸 ,  西野 功二 ,  池田 信一

    IPC分类号： F16K37/00 ,  G05D7/06

    摘要： 【課題】 コントロール弁のシートリークを検知する。 【解決手段】 絞り部(22)、コントロール弁(Vc)、第1圧力センサ(24)、第2圧力センサ(25)、流入圧力センサ(23)を含む流量制御装置(10)と、下流開閉弁(V2)と、上流開閉弁(V1)とを備える流体システム(100)におけるコントロール弁のシートリークの検知方法は、流入圧力が下流圧力よりも大きい状態において、上流開閉弁、下流開閉弁、コントロール弁を開状態から閉状態に変化させるステップ(a)と、上流開閉弁、下流開閉弁、コントロール弁を閉状態に維持したまま、流入圧力センサによる流入圧力、第1圧力センサによる上流圧力または第2圧力センサによる下流圧力を測定するステップ(b)と、上流圧力と下流圧力とが平衡圧力に達した後の、流入圧力、上流圧力または下流圧力の時間変化に基づいてシートリークを検知するステップ(c)とを含む。 【選択図】図1

    圧力式流量制御装置
    9.
    发明专利
    圧力式流量制御装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018136986A

    公开(公告)日：2018-08-30

    申请号：JP2018086041

    申请日：2018-04-27

    申请人： 株式会社フジキン

    发明人： 廣瀬 隆 ,  吉田 俊英 ,  松本 篤諮 ,  平田 薫 ,  池田 信一 ,  西野 功二 ,  土肥 亮介 ,  杉田 勝幸

    IPC分类号： G05D7/06

    摘要： 【課題】 流体流量制御において、流量切換時の立下げ応答時間の短縮を図り、立下げ応答特性を高めることを可能にした圧力式流量制御装置を提供する。 【解決手段】 流体入口2と流体出口3と間を連通する流体通路4を設けた本体5と、本体5に固定されて流体通路4を開閉する圧力制御用コントロール弁CVと、圧力制御用コントロール弁CVの下流側の流体通路4に介在させたオリフィスOLと、本体5に固定されて圧力制御用コントロール弁CVとオリフィスOLとの間の流体通路4の内圧を検出する圧力センサP1と、を備え、流体通路4は、圧力制御用コントロール弁CVと圧力センサP1の圧力検知面P1a上の圧力検知室4bとを接続する第1通路部4aと、第1通路部4aと離間して圧力検知室4bとオリフィスOLとを接続する第2通路部4cとを備えることにより、圧力検知室4bを経由するように構成されている。 【選択図】 図1