ヘリウムガスの回収装置及びガス圧縮方法

    公开(公告)号:JP2021080966A

    公开(公告)日:2021-05-27

    申请号:JP2019207113

    申请日:2019-11-15

    Abstract: 【課題】液体ヘリウムの蒸発により発生したヘリウムガスを効率良く回収することができるヘリウムガスの回収装置を提供する。 【解決手段】液体ヘリウムLHeの蒸発により発生したヘリウムガスGHeを回収するヘリウムガスの回収装置1Aであって、ヘリウムガスGHeが流れるヘリウムガス回収ライン2と、ヘリウムガス回収ライン2中に設けられて、ヘリウムガス回収ライン2の一端側から他端側に向けて流れるヘリウムガスGHeを圧縮する圧縮部3と、ヘリウムガス回収ライン2の他端と接続されて、圧縮部3により圧縮されたヘリウムガスGHeを貯留するヘリウムガス貯留部4とを備え、圧縮部3は、ヘリウムガス回収ライン2を介して直列に接続された複数の圧縮機7A,7B,7Cを有する。 【選択図】図2

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