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发明专利
ウエハ検査装置およびウエハ検査方法有权

公开(公告)号：JPWO2019229871A1

公开(公告)日：2021-03-25

申请号：JP2018020719

申请日：2018-05-30

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 土居昭 , 佐々木実 , 長谷川正樹 , 小川博紀 , 尾方智彦 , 岡田祐子

IPC: G01N21/956 , H01J37/29 , H01J37/244 , H01L21/66 , G01N23/203

Abstract: 本開示は、ウエハの反り等による高さ変動がある観測対象においても画質の劣化が少ないウエハ検査技術を提供する。ウエハ検査装置は、ウエハ表面高さを測定する高さセンサで測定した高さに観測光学系の焦点を合わせ、また、高さに応じた光学倍率データとステージ位置データからCCDラインセンサの切り替え信号を補正してウエハ表面高さに応じた補正を実施することにより、劣化の少ない画像を得る(図1参照)。

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