公开(公告)号：JP6937310B2

公开(公告)日：2021-09-22

申请号：JP2018537899

申请日：2016-09-06

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 松永 宗一郎 ,  早田 康成 ,  片桐 創一 ,  川野 源 ,  土肥 隆

IPC: H01J1/30 ,  H01J37/06

公开(公告)号：JPWO2019049261A1

公开(公告)日：2020-09-24

申请号：JP2017032276

申请日：2017-09-07

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 松永 宗一郎 ,  早田 康成 ,  片桐 創一 ,  榊原 慎 ,  川野 源 ,  土肥 隆

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/06

Abstract: 試料に照射するプローブ電流を大きくしても、試料上に収束するビームのスポット径を小さく維持できる電子銃を実現するため、電子源(101)と、電子源(101)から電子を引き出す引出電極(102)と、電子源(101)から引き出された電子を加速させる加速電極(103)と、加速電極(103)から放出される電子ビームを収束させる制御レンズを形成する第1コイル(104)及び電子源側に開口を有する第1磁路(201)を有する電子銃に対して、電子源(101)の設置位置において第1コイル(104)及び第1磁路(201)により発生される磁場を打ち消すための磁場発生源(301)を設ける。

公开(公告)号：JPWO2020044389A1

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：JP2018031497

申请日：2018-08-27

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 楠 敏明 ,  橋詰 富博 ,  糟谷 圭吾 ,  荒井 紀明 ,  清野 博光 ,  金田 実 ,  大嶋 卓 ,  松永 宗一郎

IPC: H01J37/06 ,  H01J9/04 ,  H01J1/15 ,  H01J1/148

Abstract: 本発明は、六ホウ化物単結晶の柱状チップ(4)と、六ホウ化物単結晶の柱状チップ(4)を保持する金属管(12)と、金属管(12)と中央部分で接続されたフィラメント(18)と、を備える電子源であって、六ホウ化物単結晶の柱状チップ(4)は、前記金属管(12)で保持された部分よりも先の部分が、錐体状に形成されており、錐体状の先端部分が(310)結晶面を有しており、(310)結晶面からショットキー電子を放出することを特徴とする。本発明によれば、単色性と放出電流の長期安定性、大電流密度を兼備えた新たな電子源を提供することができる。

公开(公告)号：JP6814301B2

公开(公告)日：2021-01-13

申请号：JP2019540200

申请日：2017-09-07

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 松永 宗一郎 ,  早田 康成 ,  片桐 創一 ,  榊原 慎 ,  川野 源 ,  土肥 隆

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/06