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    荷電粒子線装置
    3.
    发明专利
    荷電粒子線装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020129545A

    公开(公告)日：2020-08-27

    申请号：JP2020074385

    申请日：2020-04-17

    Applicant: 株式会社日立ハイテク

    Inventor： 關口 好文 ,  今村 伸 ,  川野 源 ,  ホック シャヘドゥル

    IPC: H01J37/244

    Abstract: 【課題】本発明は、シンチレータにて発生する光を高効率に受光素子に導くことが可能なライトガイド、検出器、及び荷電粒子線装置の提供を目的する。 【解決手段】本発明では上記目的を達成するために、シンチレータより発生した光を受光素子に導くライトガイド(3)であって、シンチレータ(5)の荷電粒子入射面とは反対の面(5c)に対向する第1の面(3a)と、シンチレータの荷電粒子入射面の反対の面とは異なる面(5d)に対向する第2の面(3e1)から形成されるシンチレータ収容部と、第2の面から入射する光を、ライトガイド内部に向かって反射する傾斜面(3e2)を備えたライトガイドを提案する。 【選択図】図3

    電子銃および電子ビーム応用装置
    9.
    发明专利
    電子銃および電子ビーム応用装置 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2019049261A1

    公开(公告)日：2020-09-24

    申请号：JP2017032276

    申请日：2017-09-07

    Applicant: 株式会社日立ハイテク

    Inventor： 松永 宗一郎 ,  早田 康成 ,  片桐 創一 ,  榊原 慎 ,  川野 源 ,  土肥 隆

    IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/06

    Abstract: 試料に照射するプローブ電流を大きくしても、試料上に収束するビームのスポット径を小さく維持できる電子銃を実現するため、電子源(101)と、電子源(101)から電子を引き出す引出電極(102)と、電子源(101)から引き出された電子を加速させる加速電極(103)と、加速電極(103)から放出される電子ビームを収束させる制御レンズを形成する第1コイル(104)及び電子源側に開口を有する第1磁路(201)を有する電子銃に対して、電子源(101)の設置位置において第1コイル(104)及び第1磁路(201)により発生される磁場を打ち消すための磁場発生源(301)を設ける。

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