公开(公告)号：JP6694515B2

公开(公告)日：2020-05-13

申请号：JP2018544636

申请日：2016-10-13

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 糟谷 圭吾 ,  荒井 紀明 ,  楠 敏明 ,  大嶋 卓 ,  橋詰 富博 ,  酒井 佑輔

IPC: H01J37/06 ,  H01J9/02 ,  H01J37/073

公开(公告)号：JPWO2020044389A1

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：JP2018031497

申请日：2018-08-27

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 楠 敏明 ,  橋詰 富博 ,  糟谷 圭吾 ,  荒井 紀明 ,  清野 博光 ,  金田 実 ,  大嶋 卓 ,  松永 宗一郎

IPC: H01J37/06 ,  H01J9/04 ,  H01J1/15 ,  H01J1/148

Abstract: 本発明は、六ホウ化物単結晶の柱状チップ(4)と、六ホウ化物単結晶の柱状チップ(4)を保持する金属管(12)と、金属管(12)と中央部分で接続されたフィラメント(18)と、を備える電子源であって、六ホウ化物単結晶の柱状チップ(4)は、前記金属管(12)で保持された部分よりも先の部分が、錐体状に形成されており、錐体状の先端部分が(310)結晶面を有しており、(310)結晶面からショットキー電子を放出することを特徴とする。本発明によれば、単色性と放出電流の長期安定性、大電流密度を兼備えた新たな電子源を提供することができる。