公开(公告)号：JP6739553B2

公开(公告)日：2020-08-12

申请号：JP2018564047

申请日：2017-01-27

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 渡邉 亮太 ,  岩淵 裕子 ,  淺尾 一成 ,  鈴木 誠 ,  森 渉 ,  山崎 実

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22

公开(公告)号：JP2021093336A

公开(公告)日：2021-06-17

申请号：JP2019224714

申请日：2019-12-12

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 富澤 由季 ,  淺尾 一成 ,  平尾 和之

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/21 ,  G01B15/00 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/22

Abstract: 【課題】試料における計測領域の深さが未知の場合でも、深部に存在する計測領域に対して、コントラストおよび明るさとフォーカスとを適切に調整することができる、荷電粒子ビーム装置による画像調整方法および荷電粒子ビームシステムを提供する。 【解決手段】コンピュータシステムが荷電粒子ビーム装置を制御して実行する画像調整方法は、コンピュータシステムが、試料の撮像画像から計測領域を特定することと、特定した計測領域に基づいてセンタリング処理を行うことと、センタリング処理を行った視野内またはセンタリング処理を行った画像内における計測領域を抽出することと、抽出した計測領域に対して、コントラストおよび明るさを調整することと、コントラストおよび明るさを調整した計測領域に対してフォーカスを調整することとを備える。 【選択図】図6

公开(公告)号：JP2021034163A

公开(公告)日：2021-03-01

申请号：JP2019150662

申请日：2019-08-20

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 山木 拓馬 ,  山本 琢磨 ,  後藤 泰範 ,  田盛 友浩 ,  淺尾 一成

IPC: G01B15/04 ,  H01L21/66 ,  H01J37/22

Abstract: 【課題】高精度な重ね合わせずれ量の測定を可能にする。 【解決手段】この荷電粒子ビームシステムは、検出器の出力に基づいて、試料の第1の層、及び第1の層よりも下層の第2の層の間の重ね合わせずれ量を測定するコンピュータシステムを備える。コンピュータシステムは、検出器の出力に基づいて、第1の層についての第1画像P1、及び第2の層についての第2画像P2を生成し、第1の加算枚数の第1画像を加算して第1加算画像P1oを生成し、第1の加算枚数よりも大きい第2の加算枚数の第2画像を加算して第2加算画像P2oを生成する。第1加算画像及び第2加算画像に基づき、第1の層及び第2の層の間の重ね合わせずれ量が測定される。 【選択図】図2