-
1.发明专利
公开(公告)号：JP5331893B2
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：JP2011538318
申请日：2010-09-29
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/28
Abstract: Disclosed is a scanning charged particle beam apparatus equipped with an aberration corrector, contrived to eliminate resolution degradation in tilt observation by a chromatic third-order aperture aberration without relying on a specific optical system. A controller of the scanning charged particle beam apparatus provides a chromatic third-order aperture aberration measurement method relevant to tilt observation of a specimen. Further, the controller has a chromatic aberration control function relevant to tilt observation of a specimen. By means of the chromatic aberration control function, the controller controls a chromatic aberration to be positive or negative, rather than remaining at 0, in order to eliminate an image blur which occurs in a direction parallel to the specimen surface due to a chromatic third-order aperture aberration and a chromatic aberration at a tilt angle (t1) under observation and another tilt angle (−t1) axially opposite to the tilt angle.
-
公开(公告)号：JP4291827B2
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：JP2006088092
申请日：2006-03-28
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/153 , H01J37/04 , H01J37/21
-
公开(公告)号：JP5603421B2
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：JP2012518359
申请日：2011-05-27
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/153 , H01J37/147 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/15 , H01J2237/221 , H01J2237/31749
-
公开(公告)号：JP5530811B2
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：JP2010127156
申请日：2010-06-02
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/145 , H01J37/141 , H01J37/20 , H01J37/244
-
公开(公告)号：JPWO2011152303A1
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：JP2012518359
申请日：2011-05-27
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/15 , H01J2237/221 , H01J2237/31749
Abstract: 本発明は収差補正器(4)を備えた荷電粒子線装置の収差測定方法に関する。本発明では、収差測定の際に(A)視野ずれを測定する際に基準となる第1の画像と第2の画像の画素数或いは解像度を変え、大まかな視野ずれによる移動先を求めた後、第1の画像と第2の画像の画素数或いは解像度を同条件にし、精密に視野ずれ量を測定すること、或いは、(B)水平方向と垂直方向にラインを持つ試料を1次元スキャンし、信号位置のずれから移動量を測定する、ことを特徴とする。これにより、収差補正器を搭載した荷電粒子線装置において、測定時間を犠牲にすることなく高精度な収差測定方法を提供することが可能になった。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JPWO2011052333A1
公开(公告)日：2013-03-21
申请号：JP2011538318
申请日：2010-09-29
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/28
Abstract: 収差補正器を備えた走査荷電粒子線装置での傾斜観察において、特定の光学系によらず、色球面収差による分解能低下の抑制を図る。走査荷電粒子線装置の制御部は、試料の傾斜観察における色球面収差の測定方法を提供し、更に、試料の傾斜観察において色収差制御機能を有し、観察する傾斜角(t1)およびこの傾斜角と軸対称の関係にある傾斜角(-t1)において、色球面収差および色収差によって試料面と平行な方向に生じる画像のボケを抑制するため、この色収差制御機能により色収差が0となる状態よりも正もしくは負になるよう制御する。
-
公开(公告)号：JP4708854B2
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：JP2005140588
申请日：2005-05-13
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/153 , G01B15/00 , G01N23/225 , H01J37/09 , H01L21/66
CPC classification number: H01J37/153 , H01J2237/0453
Abstract: A scanning charged particle microscope which facilitates adjustment, has a deep focal depth, and is provided with an aberration correction means. The state of aberration correction is judged from a SEM image by using a stop having plural openings and the judgment result is fed back to the adjustment of the aberration correction means. A stop of a nearly orbicular zone shape is used in combination with the aberration correction means.
-
公开(公告)号：JP4620981B2
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：JP2004233286
申请日：2004-08-10
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/153 , H01J37/09
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/1478 , H01J2237/0458 , H01J2237/1534 , H01J2237/2611 , H01J2237/2809 , H01J2237/2817
-
公开(公告)号：JP4287850B2
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：JP2005299781
申请日：2005-10-14
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/153 , H01J37/21
-
公开(公告)号：JP4275441B2
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：JP2003094285
申请日：2003-03-31
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/153 , G01Q30/04 , G21K1/08 , G21K7/00 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/302 , H01J37/317 , H01L21/027
CPC classification number: H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/1471 , H01J37/153 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J37/302 , H01J2237/1501 , H01J2237/1534 , H01J2237/21 , H01J2237/2487 , H01J2237/2817 , H01J2237/31793
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
10
records
(took 0.032 seconds)
