公开(公告)号：JP5934501B2

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：JP2011271863

申请日：2011-12-13

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 矢野 資 ,  早田 康成 ,  福田 宗行 ,  小貫 勝則 ,  川野 源 ,  鈴木 直正

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/20 ,  H01L21/66 ,  G01B15/00 ,  H01J37/21

CPC classification number: G01B15/00 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01L22/12 ,  G01B2210/56 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/281 ,  H01J37/244

公开(公告)号：JP6002428B2

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：JP2012098311

申请日：2012-04-24

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 早田 康成 ,  矢野 資 ,  福田 宗行 ,  高橋 範次 ,  川野 源 ,  伊藤 博之

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/145 ,  H01J37/153

CPC classification number: H01J37/141 ,  H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/1536