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公开(公告)号：JP6165444B2
公开(公告)日：2017-07-19
申请号：JP2013003054
申请日：2013-01-11
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/147 , G01B15/00 , H01L21/66 , H01J37/22
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/1475 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/1536 , H01J2237/221 , H01J2237/2448 , H01J2237/2806 , H01J2237/2809 , H01J2237/2817 , H01J37/1472
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公开(公告)号：JP2020053272A
公开(公告)日：2020-04-02
申请号：JP2018181729
申请日：2018-09-27
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/21 , H01J37/12 , H01J37/28 , H01J37/153
Abstract: 【課題】照射される電子線の収差や焦点ずれを補正するともに、静電レンズの電場の変動が偏向器に与える影響を抑制することを目的とする。 【解決手段】試料に照射される荷電粒子線を偏向する偏向器と、前記荷電粒子線を前記試料の上で集束させる対物レンズと、を備える荷電粒子線装置であって、前記対物レンズの一部を含み、前記荷電粒子線の収差や焦点ずれを補正するための電圧が印加される静電レンズと、前記偏向器と前記静電レンズとの間に設けられ、前記静電レンズに印加される電圧と同符号であって一定の電圧が印加される電場固定電極と、をさらに備えることを特徴とする。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2019046642A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：JP2017168435
申请日：2017-09-01
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/29 , H01J37/147
Abstract: 【課題】簡便な偏向器構成でビーム偏向による視野移動の範囲を拡大するとともに、ビーム偏向に起因する信号電子検出率の変化を抑制する。 【解決手段】1次電子ビーム101の試料13上での走査領域が電子源から対物レンズの中心に向けて伸ばした軸103から外れた位置に移動するよう複数の偏向器31〜33を設定する第1の偏向場設定モジュール91と、第1の偏向場設定モジュール91で設定される走査領域を変えることなく、信号電子の軌道を補正するよう複数の偏向器を設定する第2の偏向場設定モジュール92とを有し、制御ユニット3は、第1の偏向場設定モジュールが設定する設定値に第2の偏向場設定モジュールが設定する設定値を加算して、複数の偏向器を制御する。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP6340216B2
公开(公告)日：2018-06-06
申请号：JP2014045311
申请日：2014-03-07
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/145 , H01J37/21 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J37/292 , H01J2237/057 , H01J2237/1534 , H01J2237/24514
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公开(公告)号：JP6210931B2
公开(公告)日：2017-10-11
申请号：JP2014099672
申请日：2014-05-13
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/05 , H01J37/21 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/153
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/2448
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公开(公告)号：JP6002428B2
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：JP2012098311
申请日：2012-04-24
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/147 , H01J37/145 , H01J37/153
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J2237/1405 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536
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公开(公告)号：JP2015216075A
公开(公告)日：2015-12-03
申请号：JP2014099672
申请日：2014-05-13
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/05 , H01J37/21 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/153
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 【課題】本発明の目的は、2次信号の偏向器として作用するウィーンフィルタの動作条件を変更した際に発生する焦点ずれや非点収差を補正し、かつ取得画像の表示寸法を一定に保持することのできる荷電粒子線装置を提供することにある。 【解決手段】荷電粒子線装置は、荷電粒子線を集束する2段のレンズのうち試料側に配置されたレンズと検出器の間にウィーンフィルタを配置し、さらに前記ウィーンフィルタと2段のレンズのうち荷電粒子線側に配置されたレンズを連動して制御する演算装置を設ける。 【選択図】図3
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种带电粒子束装置，其能够校正作为次级信号的偏转器的维恩滤波器的操作条件的变化期间产生的散焦和像散，并且还能够将获得的图像的显示尺寸保持在 常数。解决方案：在带电粒子束装置中，在检测器和设置在样品侧的透镜之间布置有用于会聚带电粒子束的两级透镜中的维恩滤波器，并且进一步提供用于互锁控制的计算单元 的维纳滤光器和布置在两级透镜中的带电粒子源侧的透镜。
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公开(公告)号：JP2015170518A
公开(公告)日：2015-09-28
申请号：JP2014045311
申请日：2014-03-07
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/145 , H01J37/21 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J37/292 , H01J2237/057 , H01J2237/1534 , H01J2237/24514
Abstract: 【課題】安定なエネルギー分散の低減を実現するエネルギーフィルタを搭載した走査電子顕微鏡を提供することにある。 【解決手段】電子ビームを発生させる電子源と、電子ビームの異なるエネルギーの電子の軌道を分散させる軌道分散器と、分散された電子ビームのエネルギー範囲の選択を行う選択スリットを有する選択スリット板を有し、選択スリットを透過する電子ビームの透過率をモニターする透過率モニター部を有する。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种安装能量过滤器的电子扫描显微镜，其实现了能量分散的稳定降低。解决方案：包括用于产生电子束的电子源的电子扫描显微镜，用于分散具有不同能量的电子轨道的轨道分散器 在电子束中，还具有用于选择分散电子束的能量范围的选择狭缝的选择狭缝板，该透射率监视器用于监视透过选择狭缝的电子束的透射率。
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